產品特色
數字化產品
多參數顯示和輸出：溫度、壓力、流量等
多參數控制，如體積流量、質量流量和壓力
標配三種控制方式：數字、模擬和本地面板
可選高精度：優于0.5%
高量程比 200:1
響應時間快 僅需100ms
內置98種氣體
可現場標定混合氣體，并存儲20種混合氣
性能指標
量程0-0.5 SCCM —— 0-5000 SLPM
量程比200 :1
介質要求非腐蝕性、潔凈、干燥的氣體
介質種類內置了98種氣體，請參考背面氣體兼容表
一臺設備內置所有氣體，用戶可現場選擇
精度 ±（0.8 %讀數 + 0.2 %滿量程）
高精度±（0.4 %讀數 + 0.2 %滿量程），選配
僅適用于量程為5 SCCM-500 SLPM的設備
可控流量02.4 %滿量程
顯示示屏帶按鍵，標準為LCD顯示屏，可選TFT彩色顯示屏
量程0-0.5 SCCM —— 0-5000 SLPM
量程比200 :1
介質要求非腐蝕性、潔凈、干燥的氣體
介質種類內置了98種氣體，請參考背面氣體兼容表
一臺設備內置所有氣體，用戶可現場選擇
精度 ±（0.8 %讀數 + 0.2 %滿量程）
高精度±（0.4 %讀數 + 0.2 %滿量程），選配
僅適用于量程為5 SCCM-500 SLPM的設備
可控流量02.4 %滿量程
顯示示屏帶按鍵，標準為LCD顯示屏，可選TFT彩色顯示屏
選項配件
數字化產品
多參數顯示和輸出：溫度、壓力、流量等
多參數控制，如體積流量、質量流量和壓力
標配三種控制方式：數字、模擬和本地面板
可選高精度：優于0.5%
高量程比 200:1
響應時間快 僅需100ms
內置98種氣體
可現場標定混合氣體，并存儲20種混合氣
環保在線