產品特色

● 數字化產品

● 多參數顯示和輸出：溫度、壓力、流量等

● 可選高精度：可優于0.5%

● 可測范圍廣，0.01~99%

● 滿量程超低壓損為360Pa

● 響應時間快，優于10 ms

● 內置98種氣體

● 可現場標定混合氣體（最多5種成分），并存儲20種混合氣

精度升級

量程為0.5 SCCM - 1000 SLPM，

其中10 SCCM - 100 SLPM量程段，下述指標升級：

質量流量普通精度        ± 0.75% 讀數或± 0.1% 滿量程（取值）

質量流量高精度           ± 0.6% 讀數或± 0.1% 滿量程（取值）

重復性                         ±（0.1% 讀數 + 0.02% 滿量程）

質量流量零點漂移       ± 0.03% 滿量程 / ℃溫差± 0.01% 滿量程 / Atm壓力差

質量流量量程漂移       ± 0.01% 讀數 / ℃溫差± 0.1 % 讀數 / Atm壓力差

技術指標

介質要求    非腐蝕性、潔凈、干燥的氣體

介質種類    內置了98種氣體，請參考背面

                 一臺設備內置所有氣體，用戶可現場選擇

量       程    從0 - 0.5 SCCM 到 0 - 1000 SLPM

測量范圍    0.01～99%

顯示流量    128%滿量程

顯  示  屏    帶按鍵背光開關，標準為LCD顯示屏，可選TFT彩色顯示屏

顯示方式    同時顯示質量流量、體積流量、壓力、溫度

精       度    ± （0.8%讀數 + 0.2%滿量程）見上段精度升級部分

                  ± （0.4%讀數 + 0.2%滿量程）（可選）

累計流量精度    流量精度之外增加±0.5%額外誤差

重  復  性    ±（0.2%讀數+0.02%滿量程）

質量流量溫度漂移    0.03%滿量程當溫度從25℃起每變化1℃

質量流量壓力漂移    ±（0.08 % 讀數 + 0.02 % 滿量程）當壓力從標定壓力起，每變化1bar

響應時間    優于10 ms

預熱時間    < 1 s

標定工況    25 ℃&1 Atm（可現場在測量范圍內隨意更改）

工作溫度    -10 ～ 60 ℃（可選高溫/低溫選項）

溫度精度    ± 0.75 ℃

工作濕度    0 ～ 95 %，無冷凝

工作壓力    0.3 MPa表壓，進出口允許瞬時壓差70 Kpa

操作壓力    如果不做真空特殊標定，建議在絕壓80 KPaA以上使用；其他真空壓力建議做特殊標定

壓力精度    ±0.5%讀數（讀數＞1 Atm），或±0.1PSIA（＜1Atm）

滿量程壓損    參考詳細壓損表

數據刷新頻率    數字信號40 Hz@ 19200波特率；

                        模擬信號：1000 Hz

屏幕刷新頻率    10 Hz

數字輸入/輸出信號    RS232、RS485、Modbus RTU（RS232/RS485）、Modbus TCP/IP、DeviceNet、EtherCAT、EtherNet/IP、Profibus*

模擬輸入/輸出信號    0-5 VDC、1-5 VDC、0-10 VDC、4-20mA

可選第二路模擬輸出    質量流量、體積流量、壓力、溫度

模擬信號精度    在基礎誤差上額外增加 ± 0.1 % 滿量程誤差

供電電壓    7 - 30 VDC（如選4 - 20 mA輸出，須為15 - 30 VDC）

供電電流    40 mA，80 mA（4 - 20 mA 或 0 - 10 VDC）

電氣接口    DB9，可選DB15、6針工業接頭、8針Mini-DIN

泄漏率（外漏）    選擇HLC選項，泄漏率可低至1 x 10^-9Atm cc/s He

材       質    302不銹鋼、Viton、硅膠RTV、玻璃增強尼龍、鋁

過程連接    詳情參考壓損表

安裝方式    對位置無要求

防護等級    IP40

認       證    ISO 9001、NIST溯源認證、CE、RoHS、REACH聲明、CSA （可選）

* 如選Profibus，則無模擬信號，無顯示，其供電電壓及供電電流需來電垂詢