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   規(guī)格參數(shù)：

1.測量范圍：X=500mm，Y=600mm，Z=400mm

2.空間測量示值誤差：E≤3.5+L/250µm

3.分辨率：0.5µm

4.zui大承受重量：300kg

5.儀器重量：550kg

6.外型尺寸：x=950mm，y=1050mm，z=2000mm

7.環(huán)境要求：

l         溫度范圍：20±2℃，0.5℃/h

l         氣源壓力： 0.6MPa～0.8MPa，200L/min（0.4MPa）

l         濕度范圍：45%-65%

l         電源： 220V±10% ，50Hz

l         功率：1200瓦

l         地面振動：頻率范圍：0～6Hz，   6～50Hz，   ＞50Hz   

              振    幅：7.6µm，    2.5µm，     7.6µm

   描述：

1.整體式的花崗巖工作臺，使其具有承載能力強、工件放置空間寬闊、裝卸便捷的特點；

2.三軸導(dǎo)軌均采用優(yōu)質(zhì)花崗巖，使三軸具有相同的溫度特性，因而具有良好的溫度穩(wěn)定性、抗時效變形能力，剛性好、幾何變形zui小；

3.非線性彈簧系統(tǒng)的應(yīng)用，降低了導(dǎo)軌微小誤差對測量精度的影響，同時保證設(shè)備具有更高的環(huán)境溫度適應(yīng)性；

 4. 全部導(dǎo)軌采用高精度的空氣軸承，環(huán)抱式的導(dǎo)軌設(shè)計提高了機器的剛性和穩(wěn)定性，即使長時間工作也能保持很高的精度，確保了機器優(yōu)異的動態(tài)特性

5. Z軸扭轉(zhuǎn)是決定測量機精度的重要環(huán)節(jié)，可靠的防轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)設(shè)計使得即使在使用測頭加長桿時也能獲得很高的精度。

6. Z軸采用重力平衡裝置，可靠程度高，運動更平穩(wěn)、順暢。

7.三軸快速移動、鎖緊、微調(diào)采用一鍵式轉(zhuǎn)換。只用輕輕一扳空氣鎖緊裝置對應(yīng)的開關(guān)，便可將各軸由快速移動狀態(tài)轉(zhuǎn)換至鎖緊狀態(tài)，鎖緊后可通過X、Y、Z軸微調(diào)旋鈕方便的移動各軸。在對工件的狹小部位進(jìn)行檢測時，此功能體現(xiàn)的尤為充分；

8.長度測量系統(tǒng)采用國外進(jìn)口高精度反射式金屬帶狀光柵尺和讀數(shù)頭，具有*的精度和精度穩(wěn)定性

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