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珠海潔凈室與靜電分析-潔凈室工程

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更新時間:2022-07-15 15:50:18瀏覽次數(shù):476次

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經(jīng)營模式:生產(chǎn)廠家

商鋪產(chǎn)品:75條

所在地區(qū):上海上海市

聯(lián)系人:白小姐 (經(jīng)理)

產(chǎn)品簡介

半導(dǎo)體、平面液晶顯示器、光電子和生物醫(yī)藥都需要潔凈的生產(chǎn)車間,通常潔凈室是指空間空氣懸浮粒子濃渡被控制在規(guī)定界限內(nèi)的房間或限定空間,這塵埃粒子的粒徑越小和被限定的粒數(shù)越小,潔凈度便越高。

詳細介紹

潔凈室與靜電分析-潔凈室工程 
一、潔凈室與靜電分析-潔凈室工程-潔凈室與靜電
1、潔凈室
      半導(dǎo)體、平面液晶顯示器、光電子和生物醫(yī)藥都需要潔凈的生產(chǎn)車間,通常潔凈室是指空間空氣懸浮粒子濃渡被控制在規(guī)定界限內(nèi)的房間或限定空間,這塵埃粒子的粒徑越小和被限定的粒數(shù)越小,潔凈度便越高。
2、潔凈室的靜電
      由于潔凈室的潔凈度要求,室內(nèi)使用
      ①大量的高絕緣介質(zhì)裝飾材料、地面、墻、門、頂棚、隔斷、工作臺、椅子等等,這些材料摩擦容易起電帶電,不易泄漏釋放。
      光刻間塑料地面500V~1000V,擴散間塑料地面500V~1500V,瓷磚地面也有500V~1500V,塑料墻紙700V,塑料頂棚OV~1000V,金屬活動皮芏椅面500V~3000V。
      ②人穿潔凈工作服、鞋、步行或工作時,與不同物質(zhì)設(shè)備器材摩擦要產(chǎn)生靜電,人、衣服、鞋都會帶電。
      人穿尼龍衣、塑料膠底鞋緩慢地在清潔的地板上走動,人身上帶7000V~8000V靜電壓。在乙烯基地板上行走可帶1200V(10%~20%RH)、250V(65%~90%RH)靜電壓,在地毯上行走可帶35000V(10%~20%RH)、1500V(65%~90%RH),晶片裝配線工人穿的工作服可達10KV。
      ③空調(diào)氣流經(jīng)過初效過濾器、中效過濾器、高效過濾器,凈化出口氣流是帶靜電的。鋁板送風(fēng)口、回風(fēng)口約為500~1000V。
      ④大量的絕緣器材、裝備和工具,也是重要的靜電電荷源。晶片裝配生產(chǎn)線:晶片裝料盒35KV,有機玻璃蓋8KV,石英制品1.5KV,晶片托盤6KV,丙烯酸脂蓋20KV,臺桌面10KV,塑料存貯柜30KV,玻璃纖維晶體載料盒滑過聚丙烯桌面帶10KV。
      總之:潔凈室的潔凈度要求越高,靜電帶電便越嚴重。
 
二、潔凈室與靜電分析-潔凈室工程-潔凈室靜電的危害
1、靜電庫侖力
      在靜電庫侖力的作用下,吸附的粉塵、污物造成元器件增大泄漏或形成短路,使性能受損,成品率和可靠性大大下降。如粉塵粒徑>100μm,鋁線寬度約100μm,氧化膜厚度在50μm時,zui易使產(chǎn)品報廢。現(xiàn)在線徑更細,氧化膜很薄,粒徑很小的塵粒子就會損害元器件,這種情形多發(fā)生在腐蝕清洗、光刻、點焊和封裝等工藝過程中。
2、靜電放電ESD
      (1)元器件的絕緣氧化膜被擊穿,引線被燒斷或線間熔斷。若人體帶上10KV(100PF)的靜電荷,觸摸器件腳時發(fā)生ESD,其向大地瞬間形成脈沖放電電流峰值可達20A(10~100s),不要說高密度,細線徑,薄SiO2膜的Lsi、Vlsi,就是一般IC、MOS都會遭受損壞。
      一般說器件絕緣柵SiO2薄膜的耐壓場強是E=(5-10)×106V/cm,如果器件SiO2膜厚度取1000,其器件輸入腳施加50V-100V以上的靜電壓就將會被擊穿,而人體帶靜電超過50V、100V是極平常的。
      (2)造成噪聲、發(fā)射電磁波干擾
      ESD引起EMI其電磁波的前后峰較尖,信號強,相當于電路中幾伏的能量,頻率跨越幾MH2甚幾百MH2的強大噪聲,可能引起元器件損壞,設(shè)備和傳感器不正常工作,甚至引起設(shè)備死機。
      ESD引起的EMI還會引發(fā)錯誤信號的輸入,或發(fā)生鎖存現(xiàn)象。如無塵室中,將晶圓片的EMIF箱放在鋼的手推車上,晶圓片的ESD會通過電感傳給手推車,車輪是絕緣的,則EMI的擴散會引起晶圓片處理機死機。
      (3)電擊人體
      人體的ESD或?qū)θ梭w的ESD當超過人體電擊極限電流5mA以上時,人都會有各種傷害感覺,造成工作人員的情緒不安,操作錯誤。
      半導(dǎo)體,平面顯示器,光電子等潔凈室,盡管做了很多工作,但潔凈室的靜電問題仍然影響著生產(chǎn)安全和產(chǎn)品產(chǎn)量,影響著制造成本和效益,影響產(chǎn)品的質(zhì)量和可靠性。據(jù)國外工業(yè)專家估計,美國每年由于靜電造成產(chǎn)品的損失平均在8-33%,還有人估計美國每年靜電對電子工業(yè)毀損價值達100億美元;日本80年代曾對報廢的電子產(chǎn)品進行分析,由ESD引起的損失占1/3。我國半導(dǎo)體、平面液晶顯示、光電子等都起步較晚,但靜電危害也時有發(fā)生,成品率較低。而銀行、證券公司、機要數(shù)據(jù)庫、監(jiān)控中心,電力調(diào)度室等等,若出現(xiàn)ESD就很容易引起干擾,數(shù)據(jù)遺失,情形就更嚴重了。
 
三、潔凈室與靜電分析-潔凈室工程-潔凈室靜電控制
1、靜電控制的基本原則
      (1) 確定靜電控制級別
      (2)盡量減少靜電荷的產(chǎn)生
      (3) 泄放和中和的辦法加速靜電荷消散,防止靜電積累
      (4)保護產(chǎn)品不受ESD的損壞
2、確定靜電控制的級別
      (1)元器件、組件和設(shè)備靜電敏感度分級
      1級:易遭受0-1999V靜電電壓損壞的
      2級:易遭受2000-3999V靜電電壓損壞的
      3級:易遭受4000-5999V靜電電壓損壞的
      而敏感靜電壓大于16000V的,便不必采取防靜電措施。
      (2)靜電防護工作區(qū)的分級
      *:允許對地靜電電位不超過±100V
      B級:允許對地靜電電位不超過±1000V
      實際工程中是分靜電電位不超過100V、500V、1000V等對應(yīng)元器件、組件和設(shè)備靜電敏感電壓的3級。
3、盡量減小靜電荷的產(chǎn)生
      這是控制靜電三步曲的*步,在這凈化工作環(huán)境中,的措施:
      (1)盡量采用性質(zhì)相似器材,減少在接觸摩擦分離過程中產(chǎn)生靜電電荷;
      (2)盡量采用導(dǎo)靜電型或靜電耗散型材料的器材,減少接觸摩擦分離過程產(chǎn)生積累靜電荷;
      (3)盡量采用減少接觸摩擦分離而產(chǎn)生靜電荷的生產(chǎn)流程。
4、泄放和中和
      這是控制靜電三步曲的第二步,在微電子生產(chǎn)的凈化室中zui通常的措施是接地,采用導(dǎo)電性或耗散性材料泄放靜電荷,以及離子化消電器中和靜電荷。
      (1)接地
      潔凈室應(yīng)設(shè)一個獨立靜電接地系統(tǒng)(包括地面接地金屬網(wǎng)支系統(tǒng)、生產(chǎn)線工作站接地支系統(tǒng)),以便室內(nèi)所有設(shè)備金屬外殼、移動設(shè)備的金屬支架、防靜電器材等安全、有效地將靜電荷泄放至大地。工作人員的帶電則通過手腕帶接地,以及通過防靜電鞋或腳跟帶再經(jīng)防靜電地面向大地泄放。地面、墻面、頂棚、隔斷等是硬接地,設(shè)備外殼、移動設(shè)備(車、椅、貨架等)、工作臺等則屬軟接地。
      (2)離子化肖電器
      潔凈室中生產(chǎn)組裝的元器件、PCB,生產(chǎn)線、工作站上總是難免存在一些不能接地的絕緣導(dǎo)體和絕緣介質(zhì)材料(例如大多數(shù)普通塑料)。在某些環(huán)境下,離子化消電器常用來局部消散這些物體上的靜電荷,而更經(jīng)常的是借助于空氣離子化來中和在絕緣介質(zhì)上和孤立導(dǎo)體上的所帶靜電電荷。
      (3)導(dǎo)靜電和靜電耗散材料
導(dǎo)靜電材料和靜電耗散材料由于其具有導(dǎo)靜電性,也是很好的靜電荷泄放材料,而且比金屬導(dǎo)體泄放更具有安全性,通常被采用做地板、墻面、工作臺、周轉(zhuǎn)容器、鑷子、刷子等防靜電器材。
5、防止ESD,保護產(chǎn)品
      這是控制靜電的三步曲中zui后一步。在微電子生產(chǎn)的凈化室中,為阻止ESD發(fā)生在靜電敏感元器件或組件、PCB上,一種方法是對元器件和組件提供合適的接地或分路以“消散”掉產(chǎn)品上存在的靜電荷;另一種方法是用恰當?shù)陌b方法和材料來處理靜電敏感器件的包裝和輸運。這些材料可有效地屏蔽電荷侵入產(chǎn)品以及減少產(chǎn)品在包裝箱中移動而產(chǎn)生靜電荷。
      上,半導(dǎo)體、平面液晶顯示器,光電子發(fā)展很快,集成度越來越高,芯片線徑越來越細,對防靜電要求越來越高。美國ESD協(xié)會已開始修訂ANS ESD S 20.20-1999靜電放電控制大綱,對SSD靜電敏感性分類已作了些修改。
      這給元器件使用者一個警示,不論在人員或設(shè)備進行裝備制造時,告訴你能需要的環(huán)境控制要求。如果EPA區(qū)域內(nèi)允許電壓達到25V的話,恐怕我們現(xiàn)有的防靜電器材、裝備、工具以及工程都要經(jīng)過一番艱苦的努力。 
 
 
*:
凈化工程—http://www.iwuchen.com/
風(fēng)淋室—http://www.fenglinji.com/
高效空氣過濾器—http://www.songfengkou.com/
 


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