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EMS 650/EMS 650T大樣品離子濺射鍍膜儀

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產品型號EMS 650/EMS 650T

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更新時間：2022-07-22 10:49:53瀏覽次數：564次

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產品簡介

EMS 650/EMS 650T大樣品離子濺射鍍膜儀

詳細介紹

又稱三靶大樣品室離子濺射鍍膜儀，EMS 650配套裝有直徑60mm、厚度0.1mm的金靶（用戶可以選擇其它材質的靶材）；面板式控制，*的人性化設計；濺射參數可預先設置，包括控制排氣的電磁閥（自動控制），可以獲得精確的可重復的鍍膜厚度；濺射頭互鎖，EMS 650和EMS 250鍍碳配件通用；EMS 650可控制獨立的真空泵。下圖示EMS 650。EMS 650T是在EMS 650基礎上加裝了一個功率為60L/秒的渦輪增壓泵，能夠獲得更高更潔凈的真空。

性能特征：

全自動控制
低能冷卻系統（（功率是6W）
低電壓濺射（100V，DC;每分鐘溫度升高不到2°C）
鍍膜厚度精確（2nm金粒）
精確的可重復性
鍍膜厚度20nm或200A（掃描電鏡）
微電子控制
三個靶臺同時濺射
聚碳酸脂安全外殼

儀器參數：

儀器尺寸：	450mm（W） x 350mm（D） x 175mm（H）
工作腔室	硼硅酸鹽玻璃: 225mm（Dia.） x 125mm（H）
重量：	24Kg
靶臺：	3 x 60mm Dia.x0.1mm 厚
旋轉樣品臺：	155mm Dia. 距離靶臺40 to 50mm可調
真空范圍：	ATM 1x10-2 mbar
鍍膜電流范圍：	0-100mA
鍍膜速率：	0-20nm/minute
濺射鍍膜時間：	0-4 minutes
電源：	230 volts 50Hz （zui大8 amp 包括泵）
維護：	氬氣通常 4 psi
真空泵（*）	整套真空泵軟管和油氣過濾器135L/Min

訂購信息:

貨號	產品名稱	規格
91020	EMS 650 Sputter Coater complete with Targets （3） x 60mm Dia. x 0.1mm thick fitted inclusive as standard	臺
91020T	EMS 650T Sputter Coater	臺
91025	Rotary Vacuum Pump