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風淋室防微振技術的可靠性和高精度發展特點

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更新時間：2022-07-18 11:05:41瀏覽次數：513次

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上海凱凡石化設備公司

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產品簡介

風淋室材料的高純度、產品的高精度及高可靠性是這一時期科技發展的特點。超微細加工、裝配和測試，對諸如空氣潔凈、防微振、防電磁干擾、低噪聲以及對超純水、超純氣體等的嚴格要求，使由此產生的環境控制學得到了迅速發展。控制微振動即防微振，是環境控制的一個重要組成部。

詳細介紹

在集成電路的制造過程中，被加工的是單一的硅片，從原材料到產品需要進行幾百道物理、化學加工工序，其間如果遭受污染，就會引起產品大量報廢，例如64MDRAM，在制造過程中，空氣中塵埃粒徑應被控制在0.035ym以下；環境微振動值應控制在4.5×10—3mm/s以下，在光刻工序，很小的微振動會引起對位不準，影響產品的成品率。

為了滿足集成電路日益精細的加工要求，各國風淋室在微污染控制技術領域內投入了可觀的人力、物力進行系統研究，取得了大量科技成果，涌現了一批高科技產品，諸如超高效過濾器（過濾效率達99.999 99%）的問世及IS0 3級（O.lpm）風淋室的建立。

在防微振領域，從廠房結構形式、動力設備布置及隔振措施到精密設備防微振措施等方面*的建樹，為集成電路生產提供了一個優良的環境。可以認為風淋傳遞窗，當今微污染控制領域諸多科技成果的出現無不與集成電路生產的飛速發展有關。

隨著科學技術的發展、進步，防微振技術必須不斷地探索、提高和深化，這將是歷史的必然。進行大量的工程實踐，成功地解決了彩色膠片涂布、慣導系統測試、集成電路光刻工序、空間光學系統檢測、激光實驗、超薄金屬軋制、文物保護等方面的防微振問題，為我國現代化科技的發展做出貢獻。

風淋室,凈化工程公司：www.qdjinghua.net

*信息：

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2.上海凱凡主營：精密過濾器[www.kfshjx.com]管道阻火器，Y型過濾器管道過濾器阻火呼吸閥，籃/藍式過濾器管道等；產品具有質量穩定、性能優良而且品種齊全等優點，過濾器廣泛應用于石油化工、藥業等領域深得用戶的好評。

3.上海睿深石化設備制造有限公司是一家專業從事流量計,過濾器,電磁流量計[www.rsshc.com],渦街流量計,阻火器,渦輪流量計,袋式過濾器,精密過濾器,阻火呼吸閥生產的專業廠家。

關鍵詞：風淋室高效過濾器傳遞窗凈化工程卷板機