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TKCA-4型全自動氬氣純化器/成都天凱TKCA-4氬氣純化器

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更新時間:2022-07-11 11:56:59瀏覽次數:1510次

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產品簡介

TKCA-4型全自動氬氣純化器

詳細介紹

 

高純氬廣泛應用于電子、冶金、機械、高純材料和儀器分析等產業部門和科學研究中。為直讀光譜儀、等離子光譜儀、輝光光譜儀、定氫儀和單晶硅、光電材料生產等提供穩定的高純氬氣。
 
 
主要技術指標
       1、輸入原氣
            本純化裝置允許原料氬氣中的氧含量≤3000ppm、N2≤200ppm、水≤1000ppm(即露點低于-2 0 ℃),一般瓶裝純氬均能滿足這些要求。
       2、輸出純氣
          純氣的大輸出能力為4m³/h
          純氣中雜質含量:O2≤0.2ppm     N2≤0.2ppm
                          H2O≤1ppm       即露點≤-76 ℃
                          C的氧化物≤0.1ppm  S、P的氧化物≤0.1ppm
                          塵埃粒子數(≥0.3µm)3-5個/升,即100級
        3、工作條件
           工作壓力≤1.0MPa
           催化塔工作溫度      260℃      吸附塔工作溫度   室溫
           合金吸附塔工作溫度  300℃      吸附塔再生溫度   400℃
           再生用氣量  500ml/min
        4、電源
           電壓 220V    催化塔  0.6kw    吸附塔工作時  0kw
           合金吸附塔工作時0.6kw         再生時        1kw
        5、外形和重量
           450mm×635mm×1210mm           130kg

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