臺(tái)式電鏡：Mini型掃描電鏡
Z大倍率 10萬(wàn)倍 (有效倍率 6萬(wàn)倍)
● SE Detector (BSE-option)
● high vacuum mode
● X, Y, R, Z, T – 5軸 System- 構(gòu)成Tilt(0~45)軸
● 由Variable Aperture提高resolution
韓國(guó)賽可Mini-SEM臺(tái)式掃描電鏡廠家報(bào)價(jià)：
臺(tái)式電子顯微鏡（Mini-SEM）是什么?
由（株）SEC 在韓國(guó)內(nèi)* 開(kāi)發(fā)的桌上型掃描電子顯微鏡（Mini-SEM）是 通過(guò)將一般掃描電子顯微鏡的模塊微型化、結(jié)構(gòu)緊湊化而構(gòu)成的。
Mini-SEM以其人性化實(shí)用型設(shè)計(jì)及實(shí)惠的價(jià)格，成為了廣泛應(yīng)用于以研究開(kāi)發(fā)和品質(zhì)管理，教育等為目的的企事業(yè)單位，*，學(xué)校，研究所等機(jī)構(gòu)的經(jīng)濟(jì)普及型掃描電鏡。
Mini-掃描電鏡SEM特點(diǎn)：
□ 構(gòu)成zui大倍率為 3萬(wàn)倍、 6萬(wàn)倍、 10萬(wàn)倍的 Line-Up
□ 便于安裝及搬運(yùn) 的超小型掃描電子顯微鏡
□更換樣品時(shí)間短，且能迅速構(gòu)現(xiàn)優(yōu)質(zhì)影像
□ 具有誰(shuí)都可以輕松上手的簡(jiǎn)易性
□ 日常保養(yǎng)費(fèi)用負(fù)擔(dān)小 及 迅速而有效的售后
□ 系統(tǒng)的售后培訓(xùn) 及 咨詢服務(wù)
Normal-SEM vs Mini-SEM 參數(shù)比較：
| 區(qū) 分 | 一般電子顯微鏡 （Normal-SEM） | Mini-SEM |
| 分解能 | 3.5nm | 5nm |
| 倍率 | 5x ~ 300,000x | 30x ~ 100,000x |
| 加速電壓 | 0.5 ~ 30kV | 5 ~ 30kV |
| 顯示 | 2,560 X 1,920 Pixels | 2,560 X 1,920 Pixels |
| 初期真空時(shí)間 | 20Min | 3 Min |
| 更換樣品時(shí)間 | 5~7Min （Sub chamber除外） | 3 Min |
| 真空系統(tǒng) | Rotary pump + Diffusion pump | Rotary pump + Turbo pump |
| 自動(dòng)調(diào)整功能 | 支持 | 支持 |
| 探測(cè)器 | 2次電子 （BSE option） | 2次電子 （BSE option） |
| 安裝環(huán)境 | 3? 空間 （制振室） | 不到 1? |
| 移動(dòng)性 | 困難（費(fèi)用大） | 容 易 |
安裝及培訓(xùn)：
首先: 設(shè)備進(jìn)廠及安裝調(diào)試
- 確認(rèn)真空狀態(tài)、電子束發(fā)生狀態(tài)、硬件及控制系統(tǒng)，培訓(xùn)準(zhǔn)備
- 理論講解1小時(shí)，操作講解2小時(shí)（以3~5名培訓(xùn)對(duì)象為準(zhǔn)）
- 若配有EDS，則理論講解2小時(shí)，操作講解2小時(shí)
□ 后 續(xù) : 設(shè)備使用深入講解
- SEM使用要領(lǐng)
- 保養(yǎng) （更換燈絲及設(shè)備異常時(shí)應(yīng)對(duì)方法）
- 介紹樣品裝載前處理方法及使用時(shí)注意事項(xiàng)
□ 其 它 : 設(shè)備管理人員設(shè)備保養(yǎng)培訓(xùn)
-講解耗材更換及一般維護(hù)方法
-說(shuō)明書(shū)及一般問(wèn)題解決方法
其次：定期維護(hù)用 配件
□ 鎢（W） 燈絲（壽命150小時(shí)左右）
- 故障原因 : 壽命有限
- 更換方法 : 操作員可自行更換
- 更換時(shí)間 : 10分鐘
□ 光闌 （壽命1.5~2年左右）
- 故障原因 : 作為電子束通道,經(jīng)*使用后受到污染
- 更換方法 : 操作員可自行更換或進(jìn)行定期檢查時(shí)由工程師更換
- 更換時(shí)間 : 15分鐘
□ 真空油泵（旋轉(zhuǎn)型） / （壽命1年）
- 故障原因 : 油量蒸發(fā)減少或受到污染
- 更換方法 : 進(jìn)行定期檢查時(shí)由工程師現(xiàn)場(chǎng)填加或更換
- 更換時(shí)間 : 15~30分鐘
□ 分子真空泵（分子泵） 軸承更換 （壽命3年） – 無(wú)償提供
- 故障原因 : 壽命有限（旋轉(zhuǎn)次數(shù)）
- 更換方法 : 進(jìn)行定期檢查時(shí)由工程師現(xiàn)場(chǎng)更換
- 更換時(shí)間 : 30~50分鐘
□ 其它耗材 （碳導(dǎo)電雙面膠, 樣品臺(tái), Au/Pt靶等）-壽命決定于具體使用情況
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