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全自動高精密晶圓倒角機

參考價: ￥ 1000000

訂貨量: ≥1 臺

具體成交價以合同協議為準

產品型號DL-SC150A

品牌其他品牌

廠商性質生產商

所在地深圳市

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聯系方式：駱先生查看聯系方式

更新時間：2024-09-27 14:24:46瀏覽次數：602次

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深圳市夢啟半導體裝備有限公司

經營模式：生產廠家

商鋪產品：11條

所在地區：廣東深圳市

聯系人：駱先生（運營）

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產品簡介

1、電源供應為三相380V。
2、環境要求;無易爆易燃和腐蝕氣體;26℃恒溫無塵車間:40-85%RH。
3、氣源使用壓力為0.5Mpa-0.8 Mpa，管徑010。
4、真空負壓為-80kpa--85kpa，管徑010。
5、水源使用壓力為0.25Mpa-0.4Mpa，管徑 012。

詳細介紹

設備優勢

◎ 晶圓倒角單元采用側向進給磨削原理，兼容中?4'' / ?6'' / ?8''（Φ100~Φ200）晶圓倒角加工。

◎ 設備配有精密在線測量厚度儀單元和CCD視覺模組，加工時先測量產品厚度和精確定位圓心控制倒角角度。加工完后可測量直徑，真圓度，直線邊到圓心尺寸，倒角邊尺寸。

◎ 設備具有多段倒角程序、粗磨、精磨倒角功能，滿足各類工藝需求。

◎ 設備核心磨削主軸、承片主軸及視覺定位和測厚系統都是自主研發生產。

◎ 全自動上下料和不良品下料工位。可進行0.4mm-1.5mm厚的晶圓雙面倒角加工。

◎ 配置了觸摸式液晶顯示器，提高了操作便利性。控制畫面可同步顯示加工狀況和設備狀態，操作人員只要觸摸控制畫面上的按鈕，就可以簡單地完成操作。

性能參數