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四探針電阻率測(cè)試儀

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產(chǎn)品型號(hào)BCD-310

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更新時(shí)間：2024-08-06 15:45:27瀏覽次數(shù)：110次

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北京百川宏宇交通設(shè)施有限公司

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產(chǎn)品簡介

產(chǎn)地	國產(chǎn)

四探針電阻率測(cè)試儀本儀器配置各類測(cè)量裝置可以測(cè)試不同材料之電導(dǎo)率。液晶顯示，無需人工計(jì)算，并帶有溫度補(bǔ)償功能，電導(dǎo)率單位自動(dòng)選擇，BCD-310 材料電導(dǎo)率測(cè)試儀自動(dòng)測(cè)量并根據(jù)測(cè)試結(jié)果自動(dòng)轉(zhuǎn)換量程，無需人工多次和重復(fù)設(shè)置。選配：配備軟件可以由電腦操控，并保存和打印數(shù)據(jù)，自動(dòng)生成圖表和報(bào)表。

詳細(xì)介紹

四探針電阻率測(cè)試儀四探針電阻率測(cè)試儀

雙電測(cè)數(shù)字式四探針測(cè)試儀是運(yùn)用直線或方形四探針雙位測(cè)量。該儀器設(shè)計(jì)符合單晶硅物理測(cè)試方法標(biāo)準(zhǔn)并參考美國A.S.T.M標(biāo)準(zhǔn)。利用電流探針、電壓探針的變換，進(jìn)行兩次電測(cè)量，對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行雙電測(cè)分析，解決樣品幾何尺寸、邊界效應(yīng)以及探針不等距和機(jī)械游移等因素對(duì)測(cè)量結(jié)果的影響.

概述：采用四端測(cè)量法適用于生產(chǎn)企業(yè)、高等院校、科研部門，實(shí)驗(yàn)室；是檢驗(yàn)和分析導(dǎo)體材料和半導(dǎo)體材料質(zhì)量的工具。可配置不同測(cè)量裝置測(cè)試不同類型材料之電阻率。液晶顯示，溫度補(bǔ)償功能，自動(dòng)量程，自動(dòng)測(cè)量電阻，電阻率，電導(dǎo)率數(shù)據(jù)。恒流源輸出；選配：PC軟件過程數(shù)據(jù)處理和標(biāo)準(zhǔn)電阻校準(zhǔn)儀器，薄膜按鍵操作簡單，中文或英文兩種語言界面選擇，電位差計(jì)和電流計(jì)或數(shù)字電壓表，量程為1mVˉ100mV,分辨率為0.1%，直流輸入阻抗不小250μm的半球形或半徑為50 μm~125 μm的平的圓截面。探針(帶有彈簧及外引線)之間或探針系統(tǒng)其他部分之間的絕緣電照至少為10°Ω.探針排列和間距，四探針應(yīng)以等距離直線排列，探針閥距及針突狀況應(yīng)符合GB/T 552 中的規(guī)定。R=1(R +R, )…………………………(3)R2=與(R; +R，)計(jì)算試樣平均直徑D與平均操針間距S之比，由表3中查出修正因子F，也可以見GB/T11073中規(guī)定的幾何修正因子。 9.4計(jì)算幾何修正因子F，見式(4)。對(duì)于薄層厚度小于3μm的試樣，選用針尖半徑為100μm250μm的半球形探針或針尖率徑為50μm~125 pm平頭探針，針尖與試樣間壓力為0.3 Nˉ0.8Ni對(duì)于薄層厚度不小于3μ的試樣，選用針尖半徑為35μm100 pm 半球形操針，針尖與試樣間壓力不大于 0.3 N.Rr=V; R,/V=V/I,…… … R,=V,R,/V_=V,/I,-雙刀雙撐電位選擇開關(guān)。.定。歐嬌表，能指示阻值高達(dá)10°日的漏電阻，溫度針0℃-40℃，小刻度為0.1℃。光照、高頻、需動(dòng)、強(qiáng)電磁場及溫醒度等測(cè)試環(huán)境會(huì)影響測(cè)試結(jié)果，甲醇、99.5%，干燥氮?dú)狻y(cè)量儀器探針系統(tǒng)操針為具有45"~150°角的圓罐形破化鴨振針，針實(shí)半徑分別為35μm~100μm.100 μm…… … ………(5)電壓表輸入阻抗會(huì)引入測(cè)試誤差，硅片幾何形狀，表面粘污等會(huì)影響測(cè)試結(jié)果，R(TD-R_xF式中:計(jì)算每一測(cè)量位置的平均電阻R.，見式(3).試劑優(yōu)級(jí)純，純水，25℃時(shí)電阻率大于2MN.cm,s=號(hào)(二[R，(TD-瓦(7D羽yt ..計(jì)算每一測(cè)量位置在所測(cè)溫度時(shí)的薄層電阻(可根據(jù)薄層電阻計(jì)算出對(duì)應(yīng)的電阻率并修正到23℃，具體見表4)見式(5).用干凈涂題顆子或吸筆將試樣置于樣品臺(tái)上，試樣放置的時(shí)間應(yīng)足夠長，到達(dá)熱平衡時(shí)，試樣溫度為23 ℃±1℃.接通電流，令其任一方向?yàn)檎颍{(diào)節(jié)電流大小見表1測(cè)量范圍電阻率：1×10-4～2×105 Ω-cm，分辨率：1×10-5～1×102 Ω-cm方阻：5×10-4～2×105 Ω/□，分辨率：5×10-5～1×102 Ω/□電阻：1×10-5～2×105 Ω ，分辨率：1×10-6～1×102 Ω 材料尺寸(由選配測(cè)試臺(tái)決定和測(cè)試方式?jīng)Q定)直徑：A圓測(cè)試臺(tái)直接測(cè)試方式 Φ15～130mm，方測(cè)試臺(tái)直接測(cè)試方式180mm×180mm，長(高)度：測(cè)試臺(tái)直接測(cè)試方式 H≤100mm, 測(cè)量方位: 軸向、徑向均可