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杭州循澤半導體設備有限公司
MGB-130是硅片磨邊、硅片倒角的專用設備,根據高精度的數字控制方式研制而成,能精確且高效率地加工晶片。
倒角部分:
倒角部分安裝了風琴罩的方式,防止倒角加工時水滴飛濺。
控制系統:
采用穩定高效控制系統和精密級執行機構。
基本規格 | ||
硅片尺寸 | φ12″ | |
硅片厚度 | 0.4-1.0mm | |
硅片類型 | notch | |
研磨單元 | 2個 | |
外周研削 | ||
砂輪外徑 | φ202mm | |
砂輪安裝內徑 | φ30mm | |
砂輪厚度 | 20mm | |
主軸轉速 | 5000rpm | |
notch研削 | ||
砂輪外徑 | φ3.8mm | |
砂輪安裝內徑 | φ3mm | |
主軸轉速 | 140000-160000rpm | |
設備功能及參數 | ||
設備外形尺寸 | 3C/2520(長)*1500(寬)*2300(高)mm | |
8C/3050(長)*1800(寬)*2300(高)mm | ||
設備重量 | 5噸 | |
報警燈 | 三色指示燈 | |
操作面板 | 12寸工控一體機 | |
研磨速度 | 外周和 notch 可單獨設置 | |
研磨臺X軸、Y軸、Z軸 | 驅動方式 | 伺服電機 |
定位精度 | 1μm | |
研磨臺θ軸 | 驅動方式 | DD馬達 |
定位精度 | 0.001° | |
傳送單元 | 取片方式 | 吸附取片(上表面) |
清洗單元 | 清洗方式 | 甩干清洗 |
干燥方式 | 干燥空氣 | |
上下料單元 | 類型 | 片盒 |
片盒數量 | 3個/8個(選配) | |
測量單元規格 | ||
硅片厚度測量 | 最小單位 | 1μm |
測量重復精度 | ± 2μm | |
厚度測量方式 | 接觸式或非接觸式(選配) | |
偏心調整單元 | 類型 | 激光方式 |
測量精度 | 10μm | |
偏心調整精度 | ±50μm |
產品優勢:
-通過緊湊的設計提高空間效率
-高精度研磨
-通過觸控面板輕松操作
-測量磨削結果并自動校正
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