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上海明古嘉電子科技有限公司
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Park NX-Hivac 用于故障分析與氣氛敏感材料研究的高真空原子力顯微鏡 Park NX-Hivac通過為失效分析工程師提供高真空環境來提高測量敏感度以及原子力顯微鏡測量的可重復性。與一般環境或
Park NX-Hivac通過為失效分析工程師提供高真空環境來提高測量敏感度以及原子力顯微鏡測量的可重復性。與一般環境或干燥N2條件相比，高真空測量具有準確度高、可重復性好及針尖和樣本損傷低等優點，因此用戶可測量各種故障分析應用中許多信號響應，例如掃描擴散電阻顯微術(SSRM)的摻雜物濃度。
Park NX-Hivac使得真空環境中高精確度和高分辨率測量的材料科學研究遠離氧氣與其它藥劑的影響。
在高真空條件下執行掃描擴散電阻顯微鏡測量可減少所需的針尖-樣本相互作用力，從而大幅度降低對樣本和針尖的損傷。如此可延長各針尖的使用壽命，使掃描更加低成本和便捷，并通過提高空間分辨率和信噪比得到更為精確的結果。因此，利用NX-Hivac進行的高真空掃描擴散電阻顯微術測量可謂是故障分析工程師增加其吞吐量、減少成本和提高準確性的明智選擇。
Hivac 管理器通過一鍵單擊在邏輯和視覺上控制真空條件抽氣和排氣過程來實現高真空。各個過程通過顏色和圖示變化得到直觀監控，一鍵單擊后您即可無需操心真空操作順序。更快速、更簡便的真空控制軟件使原子力顯微鏡的使用更便捷更高效。
NX-Hivac具有大量功能從而能夠減少用戶輸入。換言之，您可以更快速地掃描，提高實驗室產量。
StepScan允許用戶能夠對器件進行編程從實現而快速便捷地多區域成像。NX-Hivac讓您只需五步即可完成樣本掃描：掃描、提升懸臂、移動電動平臺至用戶定義坐標區域、進針及重復掃描。如此可極大地提高生產率，減少用戶輸入。
Park電動激光對準使用戶無需輸入即可無縫銜接自動化測量例程。憑借著我們的預準直懸臂架，在更換探針時激光已對準懸臂。只需要調整定位旋鈕，便可在X和Y軸上任意定位激光光點，達到位置。
NX-Hivac即是精準的高性能原子力顯微鏡，同時也是用于故障分析的方便的原子力顯微鏡之一。Park NX-Hivac幫您可以提高自己的生產效率，并確保取得靠譜的結果。
利用兩個獨立的閉環XY和Z軸撓曲掃描儀，您可以確信掃描的高精準度。NX-Hivac提供低殘余彎曲的平面和正交XY軸掃描，使得整個掃描范圍內的離面運動距離低于1 nm。此外，NX-Hivac的特色還有非線性為低于0.5%的15 μm掃描范圍的高速Z軸掃描儀，無需進行軟件后期處理即可獲得精準的二維和三位測量。
NX-Hivac具有Park原子力顯微鏡行業的低噪聲Z軸探測器功能，可準確測量樣本形貌，同時低噪聲XY軸閉環掃描將前后掃描間隙降低至掃描范圍的0.15%。
NX-Hivac的一大特點是NX系列電子控制器可實現時間浪費最小化、精度。我們的控制器為全數字、24位高速器件，用戶能夠利用其執行一系列掃描，包括我們的真正非接觸（True Non-Contact）模式。控制器具有低噪聲設計和高速處理部件，是精密電壓和電流測量及納米級成像的之選。嵌入式電子產品同時具有數字信號處理特點，用戶可輕松地分析測量值和成像。
XY scanner: 50 μm × 50 μm (100 μm x 100 μm optional)
Z scanner: 15 μm
Objective lens: 10×
5M pixel CCD
XY stage travel: 22 mm x 22 mm
Sample size: 50 mm x 50 mm, up to 20 mm thickness
Inner vacuum chamber: 300 mm x 420 mm x 320 mm
Outer vacuum (including granite & pump): 800 mm x 950 mm x 730 mm
SmartScan: Park AFM operating software
XEI: AFM data analysis software
Hivac Manager: Auto vacuum control software
Vacuum level: Typically less than 1 x 10-5 torr
Pumping speed: Reach to 10-5 torr within 5 min.
ADC: 18 channels
4 high-speed ADC channels (50 MSPS)
24-bit ADCs for X, Y, and Z position sensor
DAC: 12 channels
2 high-speed DAC channels (50 MSPS)
20-bit DACs for X, Y, and Z positioning
3 channels of integrated lock-in amplifier
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