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上海彼愛姆光學儀器制造有限公司
U1510掃描電子顯微鏡一、用途SU1510掃描電子顯微鏡主機寬度僅為55cm體型小巧,具有3.0nm分辨率的高性能可變壓力掃描電鏡
SU1510掃描電子顯微鏡主機寬度僅為55cm體型小巧,具有3.0nm分辨率的高性能可變壓力掃描電鏡。 特點 1. 儀器主體比過去減小20%,可以更加自由地選擇安裝場地。 2. 標配低真空功能,可以對不導電進行無噴涂觀察。高低真空轉換一鍵完成。 3. 可載入*大直徑153mm,高度為60mm(WD=15mm)的樣品,并進行元素分析。 4. 強大的鼠標控制功能,可實現電鏡的所有操作。 5. 分子泵真空系統,潔凈無污染。U1510掃描電子顯微鏡
一、用途
二、技術規格
項目 內容 二次電子分辨率 3.0nm(高真空,30kV) 背散射電子分辨率 4.0nm(低真空:6Pa,30kV) 倍率 5~300,000X 加速電圧 0.3~30 kV 樣品臺 X 0~80 mm Y 0~40 mm; Z 5~50 mm; T -20°~ 90°; R 360° 樣品臺控制 手動(可選:2軸馬達) *大載入樣品尺寸 直徑:153 mm *大觀察范圍 直徑:126 mm(XYR并用) *大樣品高度 60 mm(WD=15 mm) 低真空范圍 6-270Pa(從菜單設定) 燈絲 預對中鎢燈絲 物鏡光闌 4孔可變光闌 槍偏壓 固定比例偏壓、手動偏壓和自動4偏壓 檢測器 二次電子檢測器,高靈敏度半導體背散射電子檢測器 EDX分析位置 WD=15,TOA=35° 真空系統 分子泵1臺,機械泵1臺 安全措施 停電,漏電,自動保護
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