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睿米®微通道標準漏孔家族

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更新時間:2024-11-22 12:19:53瀏覽次數:60次

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聯系人:朱密佑

產品簡介

全氣體支持: 包括但不限于He, H2, 5%H2/95%N2, D2, He3, Ar, Ke, Ne, Xe, N2, CO2, CO, CH4, 各種鹵素/冷媒, 混合氣體...)。全量程、全壓力支持:8 ~ 10-12 mbar.L/sec, 0-40Mpa;并支持同時壓力和漏率精確定制。

詳細介紹

一.全氣體支持,包括但不限于:

He, H2, 5%H2/95%N2, O2, D2, He3, Ar, Ke, Ne, Xe, N2, CO2, CO, CH4, C2H6, CH3CH3...

冷媒/鹵素/制冷劑:SF6/R134a/R22/R290/R410a/R407c/R545b/R600a/R1234yf/R1234yfze

液體:DMC電解液,十二烷C12H26...

混氣:如N2:Ar:Xe:He:Kr=1:1:1:1:1, 各種混合比例氣體

二.全量程、全壓力支持,并支持同時壓力和漏率的精確定制:

漏率:100L/H ~ 5x10-12 mbar.L/s

壓力:0-40Mpa;

1.有源漏孔(帶氣室)

抗震抗摔,高階壓力極低衰減溫度系數0.1%/℃,工作溫度:-20-65℃

1.1 He有源漏孔:

負壓漏孔:入真空漏率范圍5x10-2mbar.L/sec~5x10-12mbar.L/sec

正壓漏孔:入大氣漏率范圍5x10-2mbar.L/sec~5x10-9mbar.L/sec

1.2 H2和其他氣體有源漏孔(包含混合氣):

負壓漏孔,入真空漏率范圍5x10-2mbar.L/sec~5x10-9mbar.L/sec

正壓漏孔,入大氣漏率范圍5x10-2mbar.L/sec~5x10-9mbar.L/sec

充氣壓力:12Mpa

各類定制:根據客戶要求可定制氣室規格、閥門類型、對外接口

氣室規格:50cc,100cc160cc200cc300cc500cc,1000cc等。

閥門類型:無閥門,手動截止閥,隔膜閥(手動/氣動),零體積閥(手動/氣動),全金屬閥...

接口類型:KF, VCR,NPT螺紋, G螺紋,R螺紋,吸槍適配口...

2. 無源漏孔(所有氣體):

負壓漏孔入真空漏率范圍6L/min~1x10-9mbar.L/sec

正壓漏孔入大氣漏率范圍100L/min~5x10-9mbar.L/sec

壓力:0-40Mpa

接口類型:KF, VCR,NPT螺紋, G螺紋,R螺紋,吸槍適配口...

三.產品形態多樣化:

1.有源漏孔(帶氣室)、開放式無源漏孔(模擬和仿真泄漏件,模擬客戶工件的測試壓力與測試漏率進行定制,外接氣源和壓力)

2.真空漏孔、正壓漏孔(出口壓力為大氣壓)、或同時支持真空/正壓漏孔(RMI-MTC微通道毛細管支持壓力,對于≥5x10-9mbar.L/sec真空漏率/正壓漏率相差可以做到小于0.1%)

3.背壓式標準漏孔(模擬壓氦體積最小1μL),模擬客戶背壓測試工件條件,包括測試壓力,背壓體積,以及漏率要求。睿米推出背壓式標準漏孔,用于動力電池pack密封測試。

4.可調漏率標準漏孔,如TLS3-510-3mbar.L/sec-10-5mbar.L/sec漏率可調),TLS4-6(10-4mbar.L/sec-10-6mbar.L/sec漏率可調)

5.鹵素/冷媒/制冷劑標準漏孔:支持所有的制冷劑類型,采用液態+氣態雙氣室設計,一次充注,長期使用。并使用數字壓力表,精確調壓和調漏率,漏率支持:1x10-6Pa.m3/sec~1x10-3pa.m3/sec,或支持0.1-1000克/年。

6.氣密性漏孔,介質為空氣或N2。用于校準氣密檢漏儀或進行工件模擬、仿真、和校準。定制漏率范圍:100L/min~0.0001ml/min,壓力:-1~40Mpa

7.RMI-ZVTM零體積閥標準漏孔:常規閥體死體積一般0.5-2cc,采用睿米自研零體積手動/氣動閥,閥體死體積僅為0.00098cc0.98μL),提高2~3個量級。適用于大漏率標準漏孔,可以限度降低氣體損失以及漏率衰減;同時可用于真空系統/四極質譜/RGA/半導體等應用場景,消除閥門開關對高真空系統的沖擊。

8.混氣標準標準漏孔:如N2:Ar:Xe:He:Kr=1:1:1:1:1,或客戶氣體種類或混合比

9.液態標準漏孔:如DMC電解液標準漏孔,十二烷C12H26標準漏孔

10.高壓標準漏孔:壓力≥5Mpa。如He壓力35Mpa,漏率為3.0x10-5mbar.L/sec;或如He壓力5Mpa,漏率為1.0x10-6mbar.L/sec

11.豐富的接口類型:支持常見的KF16, KF25, KF40, KF50CF16, CF40, VCR1/4, G1/8, G1/4, R1/4, R1/8, 1/8NPT, 1/4NPT, M8, M10, Staubli等。大部分接口采用一體化設計,如閥門與VCR,KF25接口一體化設計,無源漏孔采用一體化設計等,很大程度降低泄露或物理上避免泄漏的發生。

12.各種閥門:手動截止閥,全金屬閥,隔膜閥,零體積閥..., 睿米自研的閥體,采用硬質密封技術,在壓力>10MPa條件下,實現漏率<1x10-9atm.cc/sec

四.的性能指標:

睿米標準漏孔性能指標(如漏率穩定性、可重復性,抗溫度影響,抗堵塞,抗震抗摔,高低溫測試)優于國外/國內同類產品,使用壽命數倍于國外/國內同類產品!

1.高壓力,極低衰減,極低或無需維護,使用壽命長無源標準漏孔支持40Mpa壓力,可以模擬/仿真高壓油軌泄露或高壓力容器等有源漏孔支持12Mpa,是大部分廠家的1~2Mpa的數倍,也就是說同等條件下,充氣其他廠家的1Mpa標準漏孔如果1年衰減10%,睿米微通道毛細管漏孔10年才衰減10%睿米有源標準漏孔,包括正壓和真空漏孔,<1x10-6mbar.L/sec的可以實現生命周期無需補氣免維護即使如5x10-2mbar.L/sec的,結合睿米零體積閥體,可以實現數年無需補氣,極大降低維護工作以及使用成本。

2.抗震抗摔抗高壓沖擊,防堵塞性好:

睿米RMI-MTCTM微通道漏孔可以支持抗震、抗摔,耐操性強;之前國外/國內的大部分的標準漏孔需要細心苛護,運輸的時候要用防震棉,使用的時候要輕拿輕放,不小心磕碰就損壞,昂貴的標準漏孔成了一種易消耗品。使用的時候,壓力過高,充壓/泄放過快都有可能造成漏孔損壞,睿米RMI-MTCTM微通道毛細管標準漏孔,是業界目前支持暴力測試的,例如我們把標準漏孔進行跌落測試、砸摔測試,冷凍測試(放到冰箱-20℃急凍),漏孔工作正常。

3.廣泛的環境和工況適應性:

抗震抗摔,抗高壓力反復沖擊(到40Mpa)溫度支持-20~65℃, 其溫度對漏率的影響業界最小,僅為0.1%/℃,可以廣泛的應用于工作惡劣之環境,同時滿足科研,半導體、光源等高等級之需求。

4.的交付能力:

睿米的自研RMI-CalTM專有算法,對加工工藝、流導計算進行優化可以根據客戶的壓力和漏率進行快速定制,定制漏率公差±10%±5%±2%, 交付周期3-5天。

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