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濟南創譜儀器有限公司
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產品簡介 ：產品名稱：真空加熱探針臺產品型號：CPPSSZ32真空度：優于5Pa加熱溫度：300℃
名稱：真空加熱探針臺
型號：CPPSSZ32
外形尺寸：450×600×1200mm（加整體焊接支架）
產品應用：晶圓/半導體材料氣敏測試，IV,CV,PIV測試，高溫無氧化測試等
適用于樣品尺寸：低于4英寸
真空獲得方式：機械泵抽真空
樣品盤加熱溫度：300℃，溫控精度±1℃
測試漏電流精度：100fA
探針調節精度：10微米（也可選擇5微米，3微米，1微米精度）
| CPPSSZ系列真空加熱探針臺配置單 | |
真 空 腔 | 尺寸320×230×210mm，材質優質鋁合金，內表面電解拋光，外表面陽極氧化本色 |
| 上蓋40直徑石英觀察窗，可開啟，下表面可以和光學平臺直接連接 | |
| 配有多個接口，2個KF16,4個KF25,一個備用充氣口，一個旋轉控制閥門，一個放氣閥門口 | |
| 溫控樣品盤 | 尺寸4英寸，鋁合金材質，平面度5微米 |
| 溫控儀采用日本島電溫控器，顯示精度0.1℃，溫控精度±1℃，可達300℃ | |
| 探針座 | 10微米三維調節，可調磁力底座，萬向調節夾具，配備美國進口愛默生線和進口三同軸接口 |
| 真空獲得以及測量系統 | 采用成都睿寶真空計，安裝1個全金屬電阻規 |
| 真空泵選擇合資機械泵，抽速6L/秒 | |
| 顯微鏡系統 | 放大倍數7-180倍無級調節，500萬像素，搭配8寸顯示器，匹配萬向調節架和升降臺，可以無級調節 |
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