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濟(jì)南創(chuàng)譜儀器有限公司


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高低溫真空探針臺(tái)系統(tǒng)

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產(chǎn)品型號(hào)

品       牌

廠商性質(zhì)經(jīng)銷商

所  在  地濟(jì)南市

聯(lián)系方式:董梅霞查看聯(lián)系方式

更新時(shí)間:2024-09-03 08:46:05瀏覽次數(shù):190次

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經(jīng)營模式:經(jīng)銷商

商鋪產(chǎn)品:242條

所在地區(qū):山東濟(jì)南市

聯(lián)系人:董梅霞 (銷售工程師)

產(chǎn)品簡介

產(chǎn)品簡介 :高低溫真空腔探針系統(tǒng)主要用于為被測芯片提供一個(gè)低溫或者高溫的變溫測量環(huán)境,以便測量分析溫度變化時(shí)芯片性能參數(shù)的變化。腔體內(nèi)被測芯片在真空環(huán)境中有效避免易受氧化半導(dǎo)體器件接觸空氣所帶來的測試結(jié)果誤差。極低溫測試:因?yàn)榫A在低溫大氣環(huán)境測試時(shí),空氣中的水汽會(huì)凝結(jié)在晶圓上,會(huì)......

詳細(xì)介紹

  高低溫真空腔探針系統(tǒng)主要用于為被測芯片提供一個(gè)低溫或者高溫的變溫測量環(huán)境,以便測量分析溫度變化時(shí)芯片性能參數(shù)的變化。腔體內(nèi)被測芯片在真空環(huán)境中有效避免易受氧化半導(dǎo)體器件接觸空氣所帶來的測試結(jié)果誤差。

極低溫測試:

因?yàn)榫A在低溫大氣環(huán)境測試時(shí),空氣中的水汽會(huì)凝結(jié)在晶圓上,會(huì)導(dǎo)致漏電過大或者探針無法接觸電極而使測試失敗。避免這些需要把真空腔內(nèi)的水汽在測試前用泵抽走,并且保持整個(gè)測試過程泵的運(yùn)轉(zhuǎn)。

高溫?zé)o氧化測試:

當(dāng)晶圓加熱至 300℃,400℃,500℃甚至更高溫度時(shí),氧化現(xiàn)象會(huì)越來越明顯,并且溫度越高氧化越嚴(yán)重。過度氧化會(huì)導(dǎo)致晶圓電性誤差,物理和機(jī)械形變。避免這些需要把真空腔內(nèi)的氧氣在測試前用泵抽走,并且保持整個(gè)測試過程泵的運(yùn)轉(zhuǎn)。

晶圓測試過程中溫度在低溫和高溫中變換,因?yàn)闊崦浝淇s現(xiàn)象,定位好的探針與器件電極間會(huì)有相對(duì)位移,這時(shí)需要針座的重新定位,探針座位于腔體外部,可以在不破壞真空度的同時(shí)調(diào)整探針達(dá)到理想位置進(jìn)行測量。我們也可以選擇使用操作桿控制的自動(dòng)化針座來調(diào)整探針的位置。

高低溫真空探針臺(tái)結(jié)構(gòu)圖

技術(shù)參數(shù):

探針平臺(tái):

探針座采用真空室外置結(jié)構(gòu),通過探針臂與探針實(shí)現(xiàn)同步、線性位移;探針座采用鋁制整體式結(jié)構(gòu),結(jié)構(gòu)緊湊、承載大、精度高、穩(wěn)定性好等優(yōu)點(diǎn),三維調(diào)節(jié)范圍為 X、Y、Z±20mm,驅(qū)動(dòng)方式為手動(dòng)測微頭,驅(qū)動(dòng)位置為 V 型導(dǎo)軌+交叉滾珠中心驅(qū)動(dòng),產(chǎn)品定向性能穩(wěn)定,采用精密研磨絲桿 M3*0.5 分辨率高,配合做大手輪,最小刻度 0.01mm,精度 0.001mm,直線度單軸 0.002mm,重復(fù)定位精度±2 微米,單軸直線度±2 微米,固定方式為沉孔螺釘固定。自重 1.7Kg,負(fù)載 5Kg。

探針夾具采用同軸探針夾具,接 BNC 公接頭。阻抗,50 歐姆;接頭,Coaxial BNC 公口;最小漏電流,10pA;線徑,30AWG;電壓,700V。考慮到在做晶圓測試時(shí)是在高溫下測量,所以探針夾具連接處需采用高純陶瓷連接,這樣既可以耐高溫,也可以減少放氣量,利于高真空獲得和數(shù)據(jù)的精準(zhǔn)性!

探針臂采用優(yōu)質(zhì) 304 不銹鋼光軸,可以有效保證探針的水平準(zhǔn)直度和變溫環(huán)境下的剛性,減少形變造成的不良影響。探針臂移動(dòng)真空密封裝置,采用壓縮比達(dá)到 1:6.5 的焊接波紋管,壓縮壽命優(yōu)于 10 萬次。保證探針臂行程的同時(shí)減少對(duì)探針座造成的負(fù)擔(dān)。

光學(xué)平臺(tái)

隔振支撐采用超薄復(fù)合材料氣囊、自定心準(zhǔn)無摩擦球頭擺桿和帶附加擴(kuò)散口的多小孔準(zhǔn)層流阻尼技術(shù),隔振性能良好。自動(dòng)水平,自動(dòng)充氣,全部氣動(dòng)執(zhí)行元件采用德國 FEST0 產(chǎn)品,空氣壓縮機(jī)氣源、噪聲低。

應(yīng)用范圍:適用于對(duì)振動(dòng)要求高的場所。 如光電測量、全息成像、光柵制作等。輕松 調(diào)節(jié),結(jié)構(gòu)穩(wěn)定可靠。


臺(tái)面為三層夾心蜂窩狀支撐結(jié)構(gòu),采用 ICR17 優(yōu)質(zhì)高導(dǎo)磁不銹鋼

平臺(tái)表面粗糙度 0.5?0.6 um

平面度 0.02 ~ 0.05 mm/m2

固有頻率 1.5 ~2 Hz

振幅小于 1 um

重復(fù)定位精度±0.10 mm

工作壓力 0.2~0.6(Mpa)

顯微鏡

1、鑒別力高,視場范圍大,景深長。

2、工作距離長至 115mm。

3、左右目鏡屈光度可調(diào)正負(fù) 5 度,能滿足不同視力的操作者觀察。

4、能隨意調(diào)節(jié)手輪的力矩,滿足不同操作者的使用習(xí)慣,更可以鎖定手輪,方便定倍觀察。

5、本顯微鏡為連續(xù)變倍,變倍比為 6.3:1 ,物鏡變倍范圍0.8X-5X。

6、雙目觀察傾斜 45 度,雙瞳距調(diào)節(jié)范圍 52-75mm。

7、三目體式顯微鏡,可安裝 CCD 成像系統(tǒng)。

8、倍率可達(dá) 200X。

產(chǎn)品優(yōu)點(diǎn):

產(chǎn)品造型比較新穎

機(jī)械特性,操作舒適度高。

光學(xué)系統(tǒng)鑒別力達(dá) 300 線對(duì)以上,符合國際標(biāo)準(zhǔn)

超長的工作距離位于國內(nèi)同行

的 3A 設(shè)計(jì)

創(chuàng)見性人機(jī)學(xué)設(shè)計(jì),產(chǎn)品細(xì)節(jié)考慮全面。

配 CCD 采用 USB 連接電腦,分辨率≦2 微米,像素≧500 萬

3A 特性:

密封性-------防塵,防油防水污染,此種接口密封性設(shè)計(jì)能安全防塵防油防水或其它污染,這就減少了常規(guī)的維護(hù),從而降低了總的費(fèi)用.

防霉性------使其同樣適用于悶熱或潮濕的環(huán)境,此的設(shè)計(jì)保證了顯微鏡在高溫或是潮濕下都能安然無恙

防靜電------防靜電設(shè)計(jì)可以釋放顯微鏡內(nèi)不斷產(chǎn)生的靜電,防止標(biāo)本被損壞,保證提高產(chǎn)量和降低產(chǎn)品成本

高低溫控制系統(tǒng)

控溫系統(tǒng)采用日本島電溫控儀表配置固態(tài)繼電器、熱電偶形成閉環(huán) PID 控溫和自整定調(diào)節(jié),智能化 30 段可編程控制,控溫精準(zhǔn)可達(dá)到±1℃,顯示精度 1℃,溫度均勻性±3℃;加熱器 220V 供電,溫度 600℃,液氮制冷,溫度可達(dá)到-130℃。

充氣系統(tǒng)

充氣系統(tǒng)采用采用質(zhì)量流量計(jì)及控制顯示器3路,采用日本原裝品牌,提供原產(chǎn)地證明,精度1%FS,響應(yīng)時(shí)間優(yōu)于1sec;測量氣體:待定 ,量程:待定 ,數(shù)量:3路 ,連接尺寸:?6雙卡套。真空截止閥3個(gè),連接尺寸:?6雙卡套。?52mm*L200mm混氣罐1個(gè),接頭4個(gè),連接尺寸:?6雙卡套。連接管路采用?6無縫B316材質(zhì)不銹鋼管。

真空系統(tǒng)

真空獲得設(shè)備(客戶自配):抽真空機(jī)械泵采用中韓合資型號(hào)7 / 16TRP-36,9L/s抽速,自帶防返油閥門,KF25接口,KF25排氣口,配有油霧過濾器。極限真空度優(yōu)于10Pa。

真空連接管道配置KF40手動(dòng)真空擋板閥,波紋管密封,性能可靠,外觀大氣,手感好;放氣閥配置KF16手動(dòng)放氣閥,體積小巧,性能可靠;所有真空管道采用不銹鋼液壓波紋管,具備很好的柔韌度,消除機(jī)械泵震動(dòng)所帶給探針臺(tái)的影響。真空測量:真空測量采用全金屬KF16電阻規(guī),配合真空計(jì)實(shí)時(shí)顯示從大氣壓到0.1Pa的真空度,外形美觀,日后維護(hù)成本低。

備品配件

贈(zèng)送全套密封件 1 套,探針 10 只,探針臂陶瓷連接件 2 個(gè)。





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