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RLD10角錐反射鏡干涉儀

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更新時間:2024-11-29 10:32:24瀏覽次數:26次

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產品簡介

角錐反射鏡干涉儀適合長距離和高速應用

詳細介紹

角錐反射鏡干涉儀適合長距離和高速應用。

RLD10發射頭內含有干涉鏡組、的多通道條紋檢測系統、激光光閘和內置的激光準直輔助鏡。提供0°和90°兩種RLD10發射頭型號。

特性與優點

  • 多軸解決方案 — 單軸和雙軸角錐反射鏡系統為多軸應用提供理想解決方案。

  • 長距離和高速度 — 角錐反射鏡干涉儀發射頭適合具有更長距離和更高速度的應用,此時平面鏡干涉儀可能不適用。

  • 敏感環境 — 還提供低功率型號,適合功耗要求低于標準RLD特定值(即 < 2 W)的應用。

規格

軸行程0 m至4 m
分辨率(使用RLU配置)

模擬正交 = λ/2 (316 nm)
數字正交 = 20 nm
RPI20分辨率 = 77.2 pm

系統非線性誤差* (SDE)

*不含接口

低于100 mm/s且信號強度 > 70%時 <±5 nm
2 m/s且信號強度 > 50%時 <±13 nm
速度可達2 m/s

對于長度超過4 m的軸,請查看HS20激光尺系統,它支持長達60 m的軸。

對于非真空應用,為了維持變動環境條件下的精度,需要某種形式的折射率補償。雷尼紹提供RCU10實時正交補償系統,用于對環境變化進行補償。雷尼紹供應的角錐反射鏡可能不適于真空或接近真空的應用。

RPI20并行接口集成到RLE系統中,可達到38.6皮米的分辨率(平面鏡配置)。對于具有數字輸出的增強分辨率,雷尼紹的REE系列細分盒能夠提供0.395 nm的分辨率(平面鏡配置)。該接口可接收差分模擬1 Vpp正弦/余弦信號,并提供并行輸出格式。有關附件的詳細信息,請參見RCU10補償系統和激光尺接口。


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