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北京中科復華科技有限公司


杜邦蝕刻殘留物去除液

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參   考   價: 1500

訂  貨  量: ≥1 桶

具體成交價以合同協議為準

產品型號杜邦 EFC265

品       牌其他品牌

廠商性質生產商

所  在  地北京市

聯系方式:陳經理查看聯系方式

更新時間:2024-04-28 16:47:44瀏覽次數:214次

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經營模式:生產廠家

商鋪產品:12條

所在地區:北京北京市

聯系人:陳經理 (銷售經理)

產品簡介

EKC265™蝕刻后殘留物器廣泛應用在半導體行業,以滿足關鍵的清潔需求            
從高深寬比MEMS器件100μm+ 到DRAM 的70nm集成的各個階段

詳細介紹

EFC265   接觸清潔,金屬線清潔,TSV深硅穿孔清潔等

杜邦™plasmasolv®ekc265™蝕刻后殘留物去除

 

杜邦plasmasolv®ekc265™蝕刻后殘留物去除      

   

清洗接觸,金屬,穿孔和Pad

 

高度選擇性的殘留物去除 應用:        

應用EKC265™蝕刻后殘留物器廣泛應用在半導體行業,以滿足關鍵的清潔需求            

從高深寬比MEMS器件100μm+ DRAM 70nm集成的各個階段

下面列出了常見的應用程序: 

 

接觸清潔            

金屬線清潔

TSV深硅穿孔清潔           

鎢埋位線清洗            

聚酰亞胺清洗            

Pad清潔           

MEMS清洗

特征:

所有蝕刻后鋁清洗的單一解決方案

去除重有機殘留物

寬工藝窗口

高產率 

穿孔接觸電阻降低

鋁清洗行業基準



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