污水處理設備 污泥處理設備 水處理過濾器 軟化水設備/除鹽設備 純凈水設備 消毒設備|加藥設備 供水/儲水/集水/排水/輔助 水處理膜 過濾器濾芯 水處理濾料 水處理劑 水處理填料 其它水處理設備
北京中科復華科技有限公司
產地 | 國產 |
---|
電子束蒸發系統是化合物半導體器件制作中的一種重要工藝技術。它是在高真空狀態下由電子束加熱坩堝中的金屬,使其熔融后蒸發到所需基片上形成金屬膜。可蒸發很多難熔金屬或者蒸汽壓低的金屬材料,包括Ta, W, Mo, Rh, C, B, Pt, Al2O3, ZnO, Pr2O3…VS5電子束蒸發鍍膜機,臺式設計、軟件自動操控、高性價比,非常適合實驗室科研使用
應用方向:科研與教學
產品優勢:多功能,電子槍+熱阻蒸發,膜厚監控
產品配置:
★樣片數量及尺寸: 1片Φ8英寸或5片Φ4英寸或傘形工件架(用戶定制)
★蒸發材料:金屬;非金屬;化合物等薄膜材料。
★蒸發腔體:高真空系統。
★蒸發不均勻性:≤±3%-±5%
★工件架:可旋轉,轉速可調
★加熱:常規加熱
★電子槍:E型,帶XY偏轉掃描
★電子槍坩堝:6穴,17cc
★膜厚監控功能:石英晶控膜厚在線監測與終點控制
★清洗功能:可選配離子源清洗
★器件一次成型復合實驗系統:通過復合mask系統與樣品對準系統,一次完成器件的多個工藝步驟
★檢測與控制光學特性功能:可選配光控儀
★操作模式:全自動+半自動控制
類似產品: 大樣片蒸發鍍膜(MEB-800)
您感興趣的產品PRODUCTS YOU ARE INTERESTED IN
環保在線 設計制作,未經允許翻錄必究 .? ? ?
請輸入賬號
請輸入密碼
請輸驗證碼
請輸入你感興趣的產品
請簡單描述您的需求
請選擇省份