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北京中科復華科技有限公司


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熱阻/電子束蒸發鍍膜機設備

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參  考  價:10 - 280 /臺
具體成交價以合同協議為準
  • 產品型號

    MEB-600/800

  • 品牌

    其他品牌

  • 廠商性質

    生產商

  • 所在地

    北京市

聯系方式:陳經理查看聯系方式

更新時間:2024-04-09 10:05:51瀏覽次數:507次

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經營模式:生產廠家

商鋪產品:12條

所在地區:北京北京市

聯系人:陳經理 (銷售經理)

產品簡介
產地 國產    

電子束蒸發系統是化合物半導體器件制作中的一種重要工藝技術。它是在高真空狀態下由電子束加熱坩堝中的金屬,使其熔融后蒸發到所需基片上形成金屬膜。可蒸發很多難熔金屬或者蒸汽壓低的金屬材料,包括Ta, W, Mo, Rh, C, B, Pt, Al2O3, ZnO, Pr2O3…VS5電子束蒸發鍍膜機,臺式設計、軟件自動操控、高性價比,非常適合實驗室科研使用

詳細介紹

應用方向:科研與教學

產品優勢:多功能,電子槍+熱阻蒸發,膜厚監控

產品配置:

樣片數量及尺寸: 1片Φ8英寸或5片Φ4英寸或傘形工件架(用戶定制)

蒸發材料:金屬;非金屬;化合物等薄膜材料。

蒸發腔體:高真空系統。

蒸發不均勻性:≤±3%-±5%

工件架:可旋轉,轉速可調

加熱:常規加熱

電子槍:E型,帶XY偏轉掃描

電子槍坩堝:6穴,17cc

膜厚監控功能:石英晶控膜厚在線監測與終點控制

清洗功能:可選配離子源清洗

器件一次成型復合實驗系統:通過復合mask系統與樣品對準系統,一次完成器件的多個工藝步驟

檢測與控制光學特性功能:可選配光控儀

操作模式:全自動+半自動控制

類似產品: 大樣片蒸發鍍膜(MEB-800)



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