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行業(yè)產(chǎn)品

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北京中科復華科技有限公司


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磁控濺射鍍膜設(shè)備

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參  考  價:10 - 280 /臺
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 產(chǎn)品型號

    MSP-300/400/5100/6200

  • 品牌

    其他品牌

  • 廠商性質(zhì)

    生產(chǎn)商

  • 所在地

    北京市

聯(lián)系方式:陳經(jīng)理查看聯(lián)系方式

更新時間:2024-04-09 10:03:17瀏覽次數(shù):751次

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經(jīng)營模式:生產(chǎn)廠家

商鋪產(chǎn)品:12條

所在地區(qū):北京北京市

聯(lián)系人:陳經(jīng)理 (銷售經(jīng)理)

產(chǎn)品簡介
產(chǎn)地 國產(chǎn)    

磁控濺射法是在高真空充入適量的氬氣,在陰極(柱狀靶或平面靶)和陽極(鍍膜室壁) 之間施加幾百K 直流電壓,在鍍膜室內(nèi)產(chǎn)生磁控型異常輝光放電,使氬氣發(fā)生電離。

詳細介紹

應用方向:科研與教學

產(chǎn)品優(yōu)勢:效率高+多功能;垂直濺射+傾斜共濺射

產(chǎn)品配置:

樣片數(shù)量及尺寸:6片Ф2英寸(垂直濺射)+ 1片Ф4英寸(共濺射)

濺射材料:金屬;非金屬;化合物等薄膜材料。

濺射腔體:高真空系統(tǒng)。

濺射不均勻性:≤±3%-±5%

磁控靶:2-4支;可調(diào)角度;可調(diào)距離

濺射方向:樣品下置(自上而下濺射)或 樣品上置(自下而上濺射)

加熱:常規(guī)加熱,可選高溫加熱

電源配置:射頻;直流;直流脈沖;直流偏壓

清洗功能:可選配考夫曼離子源

快速反應濺射功能:可選配Speedflo

膜厚監(jiān)控功能:可選配晶控膜厚在線監(jiān)測與終點控制

操作模式:全自動+半自動控制

類似產(chǎn)品:MSP-300C;MSP-400B

選型參考:樣品在下(MSP-300B);樣品在上(MSP-300BT);配置考夫曼離子源(MSP-300BI/MSP-300BTI)



應用方向:棒狀樣品批量生產(chǎn)

產(chǎn)品優(yōu)勢:棒狀樣品側(cè)壁鍍膜,立式設(shè)備

產(chǎn)品配置:

樣片數(shù)量及尺寸:30-300根;Ф1mm~Ф30mm,L30mm~L200mm(依據(jù)靶尺寸和樣品尺寸定制)

濺射材料:金屬;非金屬;化合物等薄膜材料。

濺射腔體:高真空系統(tǒng)。

濺射不均勻性:≤±5%-±8%

磁控靶數(shù)量:2-4支矩形磁控靶

磁控靶安裝形式:立式安裝

樣品夾具:公轉(zhuǎn)+自轉(zhuǎn)

加熱:常規(guī)加熱

電源配置:射頻;直流

清洗功能:可選配離子源清洗、射頻清洗、反濺清洗模式

快速反應濺射功能:可選配Speedflo

膜厚監(jiān)控功能:可選配晶控膜厚在線監(jiān)測與終點控制

操作模式:全自動+半自動控制

類似產(chǎn)品:片狀樣品批量鍍膜(MSP-5100C)



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