真空測(cè)試加熱腔主要用于氣體敏感材料或其他對(duì)環(huán)境敏感性材料中的電信號(hào)測(cè)試。測(cè)試腔體內(nèi)部裝有不銹鋼加熱承載臺(tái)，臺(tái)面為50x50mm，臺(tái)面可升溫到350℃。該腔體設(shè)計(jì)有進(jìn)氣口和抽真空接口和2-4芯信號(hào)真空電極，做多可選用6芯電極。使用時(shí)將需檢測(cè)的器件固定在加熱臺(tái)上，需自行將引入腔體的信號(hào)線連接到測(cè)試器件的引腳處，外部信號(hào)線連接測(cè)試儀器來(lái)測(cè)試電子信號(hào)

詳細(xì)介紹

真空測(cè)試加熱腔KT-Z85X主要用于氣體敏感材料或其他對(duì)環(huán)境敏感性材料中的電信號(hào)測(cè)試。測(cè)試腔體內(nèi)部裝有不銹鋼加熱承載臺(tái)，臺(tái)面為50x50mm，臺(tái)面可升溫到350℃。該腔體設(shè)計(jì)有進(jìn)氣口和抽真空接口和2-4芯信號(hào)真空電極，做多可選用6芯電極。使用時(shí)將需檢測(cè)的器件固定在加熱臺(tái)上，需自行將引入腔體的信號(hào)線連接到測(cè)試器件的引腳處，外部信號(hào)線連接測(cè)試儀器來(lái)測(cè)試電子信號(hào)。

原圖真空放電腔-2 (1).JPG

真空測(cè)試加熱腔鄭科探KT-Z85X技術(shù)資料；

溫控器
加熱溫度	35-350℃
溫控誤差	±1℃
熱電偶類型	PT100高精度傳感器
溫控表	宇電溫控器
程序控溫	無(wú)（可選30段程序控溫表）
加熱功率	≤300W
加熱電源	AC220v
尺寸	230x230x125MM
重量	6kg
真空腔體
腔體材質(zhì)	304不銹鋼
內(nèi)腔體尺寸	φ85x45mm
加熱臺(tái)尺寸	φ50mm
加熱溫度	350℃
信號(hào)輸出頭	BNC母頭可選快插接頭
信號(hào)檢測(cè)線	X2根或 X4根 0.3平方銅線
抽氣口	KF16
進(jìn)氣口	6MM卡套
使用正壓	≤O.1MPa
使用負(fù)壓	機(jī)械泵可獲得真空≤5Pa 分子泵可獲得真空≤10 -3 Pa
觀察窗內(nèi)徑	φ45
觀察窗材質(zhì)	高透光石英玻璃
可選配擴(kuò)展	氣體注射硅膠口 SMA905 光纖接口

目前公司已研發(fā)生產(chǎn)產(chǎn)品十多個(gè)系列幾十款產(chǎn)品，產(chǎn)品囊括實(shí)驗(yàn)電爐 CVD供氣系統(tǒng) 等離子清洗機(jī) 小型離子濺射儀小型蒸鍍儀石英管真空封口半導(dǎo)體等。主要適用于科研院校及工礦企業(yè)在新材料、新能源等領(lǐng)域物理特性及化學(xué)特性的研究，廣銷于各大院校，及材料研究所。

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關(guān)鍵詞：熱電偶傳感器等離子清洗機(jī) 離子濺射儀新能源