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高溫氣敏測試臺真空探針臺

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更新時間：2024-04-25 15:16:51瀏覽次數：117次

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產品簡介

高溫氣敏測試臺真空探針臺，體型平板大小，功能齊全，帶高低溫（-196℃到400℃），探針尖10μm。

詳細介紹

高溫氣敏測試臺真空探針臺，體型平板大小，功能齊全，帶高低溫（-196℃到400℃），探針尖10μm。

模塊化結構設計，可以使探針臺在一個基本平臺的基礎上不斷的進行升級。可根據測試環境和測試條件的改變而進行現場升級。增加高低溫等，以滿足用戶新的要求。

可處理不同尺寸的晶圓
可測試芯片、晶圓
可處理薄的和彎曲的晶圓或者硅和III-V 族化合物
模塊化結構設計，具有較好的靈活性

高溫氣敏測試臺真空探針臺參數

真空腔體
類型	加熱型350℃ 或者加熱制冷型室溫到350℃ 室溫到-190℃
腔體材質	304不銹鋼
腔體內尺寸	φ90x40mm
腔體上視窗尺寸	Φ42mm（選配凹視窗Φ22mm）
腔體抽氣口	KF16
腔體進氣口	公制3mm 6mm氣管接頭英制1/8mm 1/4mm 氣管接頭可選
腔體出氣口	公制3mm 6mm氣管接頭英制1/8mm 1/4mm 氣管接頭可選
腔體正壓	≤0.05MPa
腔體真空度	機械泵≤5Pa （5分鐘）分子泵≤5E-3Pa（30分鐘）
樣品臺
樣品臺材質	304不銹鋼
樣品臺尺寸	26X26mm
樣品臺-視窗距離	30mm（可選凹視窗間距15mm）
樣品臺測溫傳感器	A 級PT100鉑電阻
樣品臺溫度	室溫到350℃（可選高低溫樣品臺高溫350℃低溫-190℃）
樣品臺測溫誤差	±0.2℃
樣品臺變溫速率	高溫10℃/min 低溫5℃/min 值
溫控儀
溫度顯示	7寸人機界面
溫控類型	標準PID溫控 +自整定（可選30段編程控溫）
溫度分辨率	0.1℃
溫控精度	±0.5℃
溫度信號輸入類型	PT100熱電阻（可選 K S B型熱電偶）
溫控輸出	直流線性電源加熱（液氮流量線性控制液氮制冷）
輔助功能	溫度數據采集并導出實時溫度曲線+歷史溫度曲線
探針
電信號接頭	配線轉接 BNC接頭 BNC三同軸接頭 SMA 接頭香蕉插頭線長1.2米
電學性能	絕緣電阻 ≥4000MΩ 介質耐壓 ≤200V 電流噪聲 ≤10pA
探針數量	4探針（可定做6探針）
探針材質	鍍金鎢針
探針尖	10μm
探針移動平臺
X軸移動行程	12mm ±6mm
X軸控制精度	≤5μm
Y軸移動行程	12mm ±6mm
Y軸控制精度	≤5μm
Z軸移動行程	12mm ±6mm
Z軸控制精度	≤5μm
數碼顯微鏡
顯微鏡類別	物鏡放大+電子放大
顯微鏡放大倍數	100倍
顯微鏡工作間距	50-150mm
相機分辨率	1080P 60幀
相機信號輸出	HDMI輸出+USB輸出
LED可調光源	LED光源
顯示屏	5寸屏幕一體機