隨著真空應用的發展，真空泵的種類已發展了很多種，其抽速從每秒零點幾升到每秒幾十萬、數百萬升。隨著真空技術在生產和科學研究領域中對其應用壓強范圍的要求越來越寬，大多需要由幾種真空泵組成真空抽氣系統共同抽氣后才能滿足生產和科學研究過程的要求，由于真空應用部門所涉及的工作壓力的范圍很寬，因此任何一種類型的真空泵都不可能WQ適用于所有的工作壓力范圍，只能根據不同的工作壓力范圍和不同的工作要求，使用不同類型的真空泵。為了使用方便和各種真空工藝過程的需要，有時將各種真空泵按其性能要求組合起來，以機組型式應用。

常用真空泵包括干式螺桿真空泵、水環泵、往復泵、滑閥泵、旋片泵、羅茨泵和擴散泵等，這些泵是我國國民經濟各行業應用真空工藝過程中B不可少的主力泵種。近年來，伴隨著我國經濟持續高速發展，真空泵相關下游應用行業保持快速增長勢頭，同時在真空泵應用領域不斷拓展等因素的共同拉動下，我國真空泵行業實現了持續穩定地快速的發展。

BAND-IT A30199 扎帶槍緊帶機美國邦固

A40199 扎帶槍BAND-IT 美國進口1/4英寸鋼扎帶

普利森PA4050-N1

美國派克漢尼汾SA1508

日本宇部MI-510F

日本宇部DM-BB2

美國捷能GENERON 6150C完整型號美國捷能GENERON 6150CP

EMG電動缸EMG伺服閥

EMG LLS 1075 線性光源發射器

ESSV1-10/8/315/6 糾編伺服閥

SV1-10/16/315/8 伺服閥

EMG光電式測量傳感器 EVM2-CP/1850 71/L/R

EMG高頻光源發射器 LLS875/01

EMG數字式控制器 ICON SE+VS/AE1054

EMG適配器 EVB03.01

EMG對中光源發射器LID2-800.2C

EMG KLW300-012

EMG CPC LS14.02

EMG KLW 360.012

EMG EPC EVM2-CP/1300.71/L/R

EMG EPC CCDPro 5000

EMG CPC LS13.01

EMG電動缸LLS 675/02

（1）泵總體結構型式

真空泵的泵體的布置結構決定了泵的總體結構。

立式結構的進、排氣口水平設置，裝配和連接管路都比較方便。但泵的重心較高，在高速運轉時穩定性差，故這種型式多用于小泵。

臥式泵的進氣口在上，排氣口在下。有時為了真空系統管道安裝連接方便，可將排氣口從水平方向接出，即進、排氣方向是相互垂直的。此時，排氣口可以從左或右兩個方向開口，除接排氣管道一端外，另一端堵死或接旁通閥。這種泵結構重心低，高速運轉時穩定性好。一般大、中型泵多采用此種結構。

泵的兩個轉子軸與水平面垂直安裝。這種結構裝配間隙容易控制，轉子裝配方便，泵占地面積小。但泵重心較高且齒輪拆裝不便，潤滑機構也相對復雜。

（2）泵的傳動方式

真空泵的兩個轉子是通過一對高精度齒輪來實現其相對同步運轉的。主動軸通過聯軸器與電機聯接。在傳動結構布置上主要有以下兩種：其一是電動機與齒輪放在轉子的同一側如圖。從動轉子由電動機端齒輪直接傳過去帶動，這樣主動轉子軸的扭轉變形小，則兩個轉子之間的間隙不會因主動軸的扭轉變形大而改變，故使轉子之間的間隙在運轉過程中均勻。這種傳動方式的最大缺點是：a.主動軸上有三個軸承，增加了泵的加工和裝配難度，齒輪的拆裝及調整也不便；b.整體結構不勻稱，泵的重心偏向電動機和齒輪箱一側。

EMG 伺服閥 SV1-10/32/315-6

EMG 伺服閥 SV1-10/16/315/6

EMG 伺服閥 SV1-10/8/315/6

EMG 伺服閥 SV1-10/48/315/6

EMG 伺服閥 SV1-10/8/120/6

EMG 伺服閥 SV1-10/16/120/6

EMG 伺服閥 SV1-10/8/315/6

EMG 伺服閥 SV1-10/16/120/6

EMG 伺服閥 SV1-10/48/315-6

EMG 伺服閥 SV1-10/16/315-6

EMG 伺服閥 SV1-10/8/100-6

EMG 傳感器 KLW 300.012

EMG 傳感器 KLW 150.012

EMG 傳感器 KLW 225.012

EMG 傳感器 KLW 360.012

EMG 傳感器 KLW150.012

EMG 傳感器 KLW225.012

EMG 傳感器 KLW300.012

EMG 傳感器 KLW450.012

EMG 傳感器 KLW600.012

SV1-10/8/315/6 伺服閥 EMG

SV1-10/48/315/6伺服閥 EMG

SV1-10/32/100/6 伺服閥 EMG

SV1-10/8/120/6 伺服閥 EMG

SV1-10/4/120/6 伺服閥 EMG

SV2-16/125/315/1/1/01伺服閥EMG

HFE400/10H濾芯EMG

KLM300/012位移傳感器EMG

LLS675/02 LICHTBAND對中整流器EMG

LIC1075/11光發射器EMG

EVK2.12電路處理板EMG

BK11.02電源EMG

MCU16.1處理器EMG

VKI3-11-200/1600/750/M/E/W/A/EMG

LID2-800.2C 對中光源發射器EMG

DMC2000-B3-160-SMC002-DCS電動執行器EMG

KLW300.012位移傳感器EMG

LIC2.01.1電路板EMG

EMG推動桿EB1250-60IIW5T

EMG推動桿EB800-60II

EMG推動桿EB220-50/2IIW5T

EMG推動桿EB300-50IIW5T

EMG發射光源L1C770/01-24VDC/3.0A

EMG制動器ED121/6 2LL5 551-1

EMG光電探頭EVK2-CP/800.71L/R

EMG放大器EVB03/235351

CLOOS控制柜底板 033590720
CLOOS PCIF板033592000
CLOOS  CPU  033590050

特點

(1)在較寬的壓力范圍內有較大的抽速；

(2)轉子具有良好的幾何對稱性，故振動小，運轉平穩。轉子間及轉子和殼體間均有間隙，不用潤滑，摩擦損失小，可大大降低驅動功率，從而可實現較高轉速；

(3)泵腔內無需用油密封和潤滑，可減少油蒸氣對真空系統的污染；

(4)泵腔內無壓縮，無排氣閥。結構簡單、緊湊，對被抽氣體中的灰塵和水蒸汽不敏感；

(5)壓縮比較低，對氫氣抽氣效果差；

(6)轉子表面為形狀較為復雜的曲線柱面，加工和檢查比較困難。

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