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上海永傲精密儀器有限公司
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TESCAN FERA3 FIB-SEM雙束電鏡 為集成 Xe 等離子源 FIB 和 SEM 的雙束掃描電鏡，離子束流達 2 µA，因此其濺射速度是傳統 Ga 離子源的 50 倍以上，這使得 FERA3 成為完成耗時過長或幾乎不可能實現的大體積銑削任務的理想設備。
FERA3 為集成 Xe 等離子源 FIB 和 SEM 的雙束掃描電鏡，離子束流達 2 µA，因此其濺射速度是傳統 Ga 離子源的 50 倍以上，這使得 FERA3 成為完成耗時過長或幾乎不可能實現的大體積銑削任務的理想設備。
在 FIB-SEM 系統中，電子和離子束的焦點可以重合，從而可以對多種實際應用進行優化。這一特征使得其在 FIB 銑削任務期間能夠同時進行 SEM 成像——這使得在完成*精度要求的 FIB 操作時，性能和吞吐量都有了巨大飛躍。同時，FERA3 配備有高性能的電路系統以用于更快的圖像采集，超快速的靜態和動態圖像畸變補償掃描系統以及用戶自定義內置應用程序腳本等。
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