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TESCAN XEIA3 FIB-SEM雙束電鏡

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更新時間:2024-01-25 18:27:42瀏覽次數:127次

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產品簡介

TESCAN XEIA3 FIB-SEM雙束電鏡 集非凡的超高分辨成像能力和優異的微細加工于一體。強大且超快速的微/納米 FIB 加工、低能電子束下的超高分辨率(UHR)、超快且可靠的微量分析和三維重構功能,使得 XEIA3 成為一款理想易用的 FIB-SEM 系統。

詳細介紹

XEIA3 集非凡的超高分辨成像能力和優異的微細加工于一體。強大且超快速的微/納米 FIB 加工、低能電子束下的超高分辨率(UHR)、超快且可靠的微量分析和三維重構功能,使得 XEIA3 成為一款理想易用的 FIB-SEM 系統。

Triglav™ -新型超高分辨率 ( UHR ) 電子光學鏡筒

  • TriLens™物鏡系統:*的電子束無交叉模式與超高分辨率物鏡相結合
  • 具有多個 SE 及 BSE 探測器的*探測系統
    • TriSE™+ TriBE™
  • Triglav™ - 低加速電壓下的超高分辨率:1 nm (1 kV ), 0.7 nm (15 kV )
  • EquiPower™ 進一步提高電子束的穩定性
  • 電子束流高達 400nA,并能實現電子束能量的快速改變
  • 優化的鏡筒幾何設計大可容納 8” 晶圓

 

                       江浙滬                                         川渝

                    


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