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成都漢普升科技有限公司
產地 | 國產 |
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成都真空設備廠家 半導體制程PVD沉積臺 電阻蒸發 電子束蒸發 離子源輔助清洗 輔助沉積 可定制
●成都真空設備廠家 半導體制程PVD沉積臺 電阻蒸發 電子束蒸發 離子源輔助清洗 輔助沉積 可定制
●本裝置使用電阻蒸發、電子束蒸發和離子源輔助清洗、輔助沉積和原位刻蝕進行復合,用于制備特種薄膜,薄膜具有均勻性、附著力、抗損傷、低顆粒物污染等特點,是半導體制程中關鍵工序的核心裝備,其技術長期被美國、日本等國技術所壟斷,屬于國內卡脖子裝備,也是制約國內半導體領域自主可控的關鍵設備,該設備的技術突破和產業化對國內半導體產業發展具有積極意義。
●說明:根據用戶要求,公司愿與客戶聯合研發,共享知識產權,公司致力于工藝與設備匹配。
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