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真空紫外橢偏儀

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具體成交價以合同協議為準

產品型號UVISEL 2 VUV

品       牌

廠商性質生產商

所  在  地國外

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更新時間:2024-04-11 11:52:19瀏覽次數:244次

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經營模式:生產廠家

商鋪產品:96條

所在地區:上海上海市

聯系人:王先生 (經理)

產品簡介

真空紫外橢偏儀專為VUV 測量設計,整個系統處于真空狀態,無氧氣吸收。具備高度準確性;*的超快測量速度;快速樣品室抽真空能力,方便快速更換樣品;氮氣消耗量少。

詳細介紹

真空紫外橢偏儀專為VUV 測量設計,整個系統處于真空狀態,無氧氣吸收。具備高度準確性;*的超快測量速度;快速樣品室抽真空能力,方便快速更換樣品;氮氣消耗量少。

 

真空紫外橢偏儀產品特點

  • 50KHz 高頻PEM 相位調制技術

  • 45 秒內完成充氮氣

  • 2 分鐘內完成樣品室抽真空

  • 8 分鐘內完成光譜全譜范圍內測量

  • 兩種工作模式:氮氣清洗結合抽

  • 真空、連續氮氣清洗

  • 光譜范圍:147nm~850nm;147nm~2100nm

 

 

重點應用領域

  • 超薄膜

  • 157nm 光刻新材料

  • 有機材料、高分子材料

  • 高k 材料:HfO2、Al2O3、TiO2、HfxAlyOz

  • 抗反射涂層

  • 半導體和介電材料電子躍遷

  • MgF2、CaF2、LaF3

 

 

 

關鍵詞:橢偏儀

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