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HORIBA科學儀器事業部
真空紫外橢偏儀專為VUV 測量設計,整個系統處于真空狀態,無氧氣吸收。具備高度準確性;*的超快測量速度;快速樣品室抽真空能力,方便快速更換樣品;氮氣消耗量少。
真空紫外橢偏儀專為VUV 測量設計,整個系統處于真空狀態,無氧氣吸收。具備高度準確性;*的超快測量速度;快速樣品室抽真空能力,方便快速更換樣品;氮氣消耗量少。
真空紫外橢偏儀產品特點
50KHz 高頻PEM 相位調制技術
45 秒內完成充氮氣
2 分鐘內完成樣品室抽真空
8 分鐘內完成光譜全譜范圍內測量
兩種工作模式:氮氣清洗結合抽
真空、連續氮氣清洗
光譜范圍:147nm~850nm;147nm~2100nm
重點應用領域
超薄膜
157nm 光刻新材料
有機材料、高分子材料
高k 材料:HfO2、Al2O3、TiO2、HfxAlyOz
抗反射涂層
半導體和介電材料電子躍遷
MgF2、CaF2、LaF3
您感興趣的產品PRODUCTS YOU ARE INTERESTED IN
商鋪:http://www.kindlingtouch.com/st711148/
主營產品:HORIBA歐洲總部 自從1988年合并了美國SPEX公司和1995年合并了法國Dilor,Sofie等公司后,Jobin Yvon公司于1997年加入了世界第六大儀器制造集團――HORIBA公司,完成了公司強強聯手。如今Jobin Yvon在法國、美國、日本、英國、意大利、荷蘭設有生產廠家,其分支機構遍布。現在Jobin Yvon公司除了提供各種類型的衍射光柵和離子刻蝕全息光柵外,還提供各種類型的光譜儀產品,如:激光拉曼光譜儀(Raman),熒光(壽命)光譜儀(FL),直讀火花光譜儀(SPARK),電感耦合等離子發射光譜儀(ICP),輝光放電光譜儀(GDS),橢圓偏振光譜儀(Ellipsometry),特殊搭建系統(System)及各種光學光譜器件(成像光譜儀,光源,IR檢測器,CCD檢測器等)。 目前,HORIBA Jobin Yvon公司設立了薄膜部、拉曼(光譜儀)部、發射(光譜儀)部、熒光(光譜儀)部、法醫部、光學儀器部、光柵&OEM儀器部等7個部門。旨在為您提供強大的技術支持與科研保障!
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