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HORIBA科學儀器事業部
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高效型CL光譜儀 電子束入射到樣品上，即可用光學方法接收并分析陰發光（CL），從而提供樣品詳細的物理特性。它是一種無損的分析方法，結合電鏡可提供與形貌相關的高空間分辨率光譜結果，是納米結構和體材料的*分析工具。 HCLUE是一款基于反射鏡耦合優化的CL系統，結合了Jobin Yvon光譜技術制造的光譜儀模塊，具有高靈敏度性能，適用于弱信號測量。可同時配備兩個探測器，以獲得更大光譜范圍。
高效型CL光譜儀儀器簡介：
電子束入射到樣品上，即可用光學方法接收并分析陰發光（CL），從而提供樣品詳細的物理特性。它是一種無損的分析方法，結合電鏡可提供與形貌相關的高空間分辨率光譜結果，是納米結構和體材料的*分析工具。
HCLUE是一款基于反射鏡耦合優化的CL系統，結合了Jobin Yvon光譜技術制造的光譜儀模塊，具有高靈敏度性能，適用于弱信號測量。可同時配備兩個探測器，以獲得更大光譜范圍。
原理圖
高效型CL光譜儀主要特點：
● 反射鏡直接耦合
● 高靈敏度
● 掃描成像、線掃描、點測量
● 多種光柵選項
● 多種焦長光譜儀選項：320mm-550mm
● 可配雙探測器以獲得zui大光譜范圍：185nm-2500nm
重點應用領域：
陰發光光譜儀（CL）是用來表征材料中的缺陷，元素和雜質追蹤的強大分析工具，廣泛適用于各個應用領域。
1、材料科學
● 半導體和光電材料
● 介電/陶瓷
● 氧化物膜
● 玻璃
2、礦物、地質
● 碳酸巖
● 晶體
● 金剛石
● 鋯石、方解石、白云石
3、生命科學
4、*
CL光譜及成像：
| ■CL光譜：使用CL測量光譜時，可在電鏡下觀察并選擇待測樣品區域。 | ■快速CL成像：將掃描電子束與您的光譜儀同步，提供快速成像方案。使用HCLUE系統測量的GaN樣品，測量中使用了超快SWIFTTM成像模式。 |
 礦物樣品中的白云石和磷酸鈣。測量使用Flex-CLUE系統，配備iHR320光譜儀和開放電式CCD探測器。感謝Prof A. Jambon, UPMC France提供數據 |
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