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HORIBA科學儀器事業部
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TGM300真空紫外光譜儀產品簡介
超環面光柵單色儀（TGM）系列是專為研究真空紫外光譜而開發設計。通過與單通道探測器相連，TGM300能分析軟X射線、紫外、遠紫外光譜。結合紫外光源，TGM300可充當可調諧紫外單色光源。TGM300真空度高達10-9mbar, 是分析10-300nm光譜的理想工具。
產品簡介
超環面光柵單色儀(TGM)系列是專為研究真空紫外光譜而開發設計。通過與單通道探測器相連，TGM300能分析軟X射線、紫外、遠紫外光譜。結合紫外光源，TGM300可充當可調諧紫外單色光源。TGM300真空度高達10-9mbar, 是分析10-300nm光譜的理想工具。
技術特點
單片式光學結構確保光通量zui大化，高光學穩定性
HJY的超環面光柵技術，全光譜范圍內優異的消像差能力
光譜覆蓋zui低至10nm
支持超高真空度10-9mbar，可接入同步輻射裝置
典型應用
紫外反射測量
紫外可調濾波/光源
激光高次諧波
等離子體物理研究
技術指標
三塊標準光柵可選 | |
550 gr/mm | 光譜范圍: 10 – 50 nm 中心波長: 15 nm |
550 gr/mm | 光譜范圍: 15 – 150 nm 中心波長: 35 nm |
275 gr/mm | 光譜范圍: 50 – 300 nm 中心波長: 55 nm |
光學設計 | HJY超環面消像差光柵 |
焦距 | 320 mm |
孔徑 | f/10 |
分辨率 | 0.4 nm (*) |
波長驅動 | 手動 |
高真空 | 10-6 mbar |
真空泵法蘭 | DN100LF |
真空計法蘭 | DN40KF |
入射/出射狹縫 | 嵌入式 |
可選項: | |
波長驅動 | 步進電機自動驅動，USB2接口 |
狹縫 | 測微或者自動 |
手動光柵滑塊 | 真空中實現2塊光柵切換 |
超高真空 | 10-9 mbar |
(*) 采用550gr/mm光柵計算 | |
附件
前鏡腔，配備兩塊超環面鏡，實現光源和單色儀之間的光學匹配
后鏡腔，配備兩塊超環面鏡，實現單色儀和樣品室之間的光學匹配
樣品室，可搭載4塊直徑不大于25mm的樣品
偏振插片
制冷機，zui低至4K
真空泵
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