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HORIBA科學儀器事業部
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PGS/PGM 1000真空紫外光譜儀產品簡介
PGS/PGM 1000光譜儀憑借優異的消像差設計，可實現一機兩用，配合單通道探測器作為單色儀，配合CCD使用作為攝譜儀。光路由一片消像差平面光柵和一片超環面鏡組成，為紫外光譜分析優化設計。掠入射光路設計將可探測波長拓展到軟X射線，與此同時，攝譜儀模式下焦平面垂直于出射光軸，使CCD上接受的光通量Z大化。
產品簡介
PGS/PGM 1000光譜儀憑借優異的消像差設計，可實現一機兩用，配合單通道探測器作為單色儀，配合CCD使用作為攝譜儀。光路由一片消像差平面光柵和一片超環面鏡組成，為紫外光譜分析優化設計。掠入射光路設計將可探測波長拓展到軟X射線，與此同時，攝譜儀模式下焦平面垂直于出射光軸，使CCD上接受的光通量zui大化。
技術特點
HJY的消像差平面光柵結合超環面鏡，同時兼顧高分辨率和低像差。
在軸設計，光路易準直。
出射光直射CCD表面，光通量大。
只需更換出射狹縫和法蘭，即可實現單色儀和攝譜儀之間的切換，一機兩用。
支持超高真空10-9mbar，可接入同步輻射裝置。
光譜范圍覆蓋到4nm，4-16nm具有超高分辨率
典型應用
紫外可調濾波/光源
激光高次諧波
等離子體物理研究
X射線光電子能譜
EUV光源表征
技術指標
三塊標準光柵可選 | |
54403130 (僅提供母光柵) | 3600gr/mm 光柵， 光譜范圍：4-16nm (77-310 eV) 出射端線色散: 0.2-0.5nm/mm 平均分辨率: 0.05nm |
54402130 | 1800gr/mm 光柵， 攝譜儀模式下 光譜范圍：8-32nm(39-155eV) 或 7-32.5nm 出射端線色散：0.04-0.1nm/mm 平均分辨率：0.1nm |
54401130 | 550gr/mm 光柵， 攝譜儀模式下 光譜范圍：30-125nm (10-41eV) 或26-126nm 出射端線色散：0.08-0.3nm/mm 平均分辨率：0.3nm |
光學設計 | HJY平面光柵加超環面鏡光路設計 |
焦長 | 1000 mm |
孔徑 | f/48 |
分辨率 | 低至0.02nm |
波長驅動 | 步進電機，USB2.0接口 |
高真空 | 10-6 mbar |
真空泵法蘭 | DN63 LF |
狹縫 | 測微狹縫 |
陣列探測器法蘭 | DN100CF/ICF152 |
可選項: | |
狹縫 | 固定或內置可切換狹縫 |
超高真空 | 10-9 mbar配備DN100CF 真空泵法蘭和DN40CF真空計法蘭 |
附件
前鏡腔，配備兩塊超環面鏡，實現光源和單色儀之間的光學匹配
后鏡腔，配備兩塊超環面鏡，實現單色儀和樣品室之間的光學匹配
樣品室，可搭載4塊直徑不大于25mm的樣品
偏振插片
制冷機，zui低至4K
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