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ATS 半導體工藝Chiller MX-20-DI維修服務

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更新時間：2025-03-17 10:35:11瀏覽次數：101次

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成都中冷低溫科技有限公司

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產品簡介

加工定制	否	類型	試驗用制冷設備

ATS 半導體工藝Chiller MX-20-DI維修服務，zonglen提供相關維修服務。主要應用與半導體生產過程中及測試環節的溫度控制，具有溫度穩定性高、溫度范圍廣、故障診斷、外部通信等豐富功能的裝置。在半導體制作過程/激光加工機/分析裝置/FPD制造裝置等用途中成果較多。

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ATS 半導體工藝Chiller MX-20-DI維修服務

zonglen公司，針對目前市場上進口冰水機chiller維修費用昂貴，服務周期長。國內生產廠家魚龍混雜，設備質量差，服務不到位等現象，zonglen公司愿做您可靠的后盾，為您排憂解難。

ATS 半導體工藝Chiller MX-20-DI維修服務

半導體專用溫控裝置（Chiller）主要用于半導體制程中對反應腔室溫度的精準控制，主要由熱交換器、循環泵、壓縮機和控制系統構成的一個自我平衡的循環裝置，屬于生產過程中的溫控設備。在常規PID控制算法的基礎上加入了預測控制技術和自適應控制技術，并采用變頻控制及兩級閉環節能控制，顯著地提高了Chiller的穩定性、控制精度和響應速度。

應用于半導體行業蝕刻裝置，CMP（工藝機械拋光），實驗室精密裝置、高精度測試儀器、醫美設備、固態激光器、模具溫控等。