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浙江普朗克儀器有限公司
PJ80半導體檢查顯微鏡一、儀器簡介:1、物鏡轉盤等采用電動切換模式,操作更加方便快捷
PJ80半導體檢查顯微鏡
一、儀器簡介:
1、物鏡轉盤等采用電動切換模式,操作更 加方便快捷。配置 8寸超大移 動平臺,為半導體、FPD 檢測提供的 應用環境??芍С?nbsp;200mm 晶圓及14 英寸液晶面板的檢查。
2、顯微鏡采用長工作距離復消色差APO物鏡, 2X/NA0.06/WD34, 5X/NA0.15/WD45, 10X/NA0.3/WD34, 20X/NA0.3/WD31(可選50X物鏡NA0.45,WD20.1和100X物鏡NA0.80,WD6)。超長的工作距離帶來更自由的操作空間。特別適合半導體探針,點墨,擦拭,清潔等工站使用。
3、采用全新LED照明系統和光學系統,照明均勻,成像清晰。突破性的大金相機架設計,可承載8英寸超大工作平臺, 平臺面積525mmX330mm, 采用了離合器驅動的手動XY載物臺,移動行程210*210mm。
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