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長沙沛鈺進出口貿易有限公司


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1200℃單溫區三通道混氣CVD系統

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產品型號

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更新時間:2024-09-28 10:34:30瀏覽次數:59次

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經營模式:經銷商

商鋪產品:488條

所在地區:湖南長沙市

聯系人:許進朝 (銷售經理)

產品簡介

型號:OTF-1200X-80-I-F3LV產品概述:OTF-1200X-80-I-F3LV是一款通過CE認證的單溫區管式爐CVD系統,其管徑為80mm,采用機械泵,供氣系統為三路浮子供氣系統,其真空度可達到10-2torr.免責聲明:本站產品介紹內容(包括產品圖片、產品描述、技術參數等)僅用于宣傳用途,僅供參考

詳細介紹

型號:OTF-1200X-80-I-F3LV

產品概述:OTF-1200X-80-I-F3LV是一款通過CE認證的單溫區管式爐CVD系統,其管徑為80mm,采用機械泵,供氣系統為三路浮子供氣系統,其真空度可達到 10-2 torr.

免責聲明: 本站產品介紹內容(包括產品圖片、產品描述、技術參數等)僅用于宣傳用途,僅供參考。由于更新不及時和網站不可預知的BUG可能會造成數據與實物的偏差,請勿復制或者截圖。如果您對參數有異議,或者想了解產品詳細信息及更多參數,請與本公司銷售人員聯系。本站提供的信息不構成任何要約或承諾,請勿將此參數用于招標文件或者合同,公司會不定期完善和修改網站任何信息,恕不另行通知,請您諒解。 如果您需要下載產品的電子版技術文檔,說明書(在線閱覽),裝箱單,與售后安裝條件等文件,請點擊上方的附件下載模塊中選取。商城產品僅針對大陸地區客戶,購買前請與工作人員溝通,以免給您帶來不便。
技術參數實驗案例警示/應用提示配件詳情
高溫爐殼體

· 采用雙層殼體結構,并帶有風冷系統

內爐膛表面涂有1750℃進口氧化鋁涂層材料提高反射率及爐膛潔凈度


功率

 2.5 KW


電壓

AC 208-240V 單相, 50/60 Hz 


加熱元件

摻鉬鐵鉻鋁合金(表面涂有氧化鋯涂層,使其延長使用壽命)


工作溫度

  1200


連續工作溫度

1100


升溫速率

 ≤20 


爐管材質和尺寸

石英管: OD: 80mm x  ID: 75 mm x Length: 1000 mm 


加熱區長度

400 mm


控溫系統

· PID30段程序化控溫  

控溫儀表操作視頻


控溫精度

+/- 1 


真空密封系統

兩個不銹鋼密封法蘭(上面已安裝真空計和截止閥),漏氣率6 mtorr/min

    blob.png


真空泵

采用雙旋機械泵,機械泵上安裝有油污過濾器,可以過濾真空泵工作時產生的油煙,減少泵油的損耗,保護環境和人體健康,過濾的最小微粒直徑為0.3微米。


防腐型真空計

· 可選:本公司進口的防腐型數字式真空顯示計,其測量范圍為3.8x10-5  1125 Torr. 不需因測量氣體種類不同而需要系數轉換。(點擊圖片查看詳細介紹)

blob.png

混氣系統

· 三個浮子流量計

· 三路浮子量程分別為

· 10-100 cc/min.

· 16-160 cc/min.

· 25-250 cc/min

內部安裝有一混氣罐 


尺寸

· 爐體尺寸: 550 x 380 x 520mm

混氣系統尺寸: 600x600x597 mm


尺寸

· 爐體尺寸: 550 x 380 x 520mm

混氣系統尺寸: 600x600x597 mm


凈重

60kg


開門斷電

為保證使用安全,該電爐為開門斷電設計
          


運輸重量

200


質保期

一年質保期(不包括爐管 、加熱元件和密封圈的損耗件)

   CE Certificate 


使用注意事項

· 爐管內氣壓不可高于0.02MPa

· 由于氣瓶內部氣壓較高,所以向爐管內通入氣體時,氣瓶上必須安裝減壓閥,建議在本公司選購減壓閥,本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全

· 當爐體溫度高于1000℃時,爐管內不可處于真空狀態,爐管內的氣壓需和大氣壓相當,保持在常壓狀態

· 進入爐管的氣體流量需小于200SCCM,以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊

· 石英管的長時間使用溫度<1100℃

對于樣品加熱的實驗,不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱,則需時刻關注壓力表的示數,若氣壓表示數大于0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥,以防意外發生(如爐管破裂,法蘭飛出等)


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