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長沙沛鈺進出口貿易有限公司
型號:OTF-1200X-80-I-F3LV產品概述:OTF-1200X-80-I-F3LV是一款通過CE認證的單溫區管式爐CVD系統,其管徑為80mm,采用機械泵,供氣系統為三路浮子供氣系統,其真空度可達到10-2torr.免責聲明:本站產品介紹內容(包括產品圖片、產品描述、技術參數等)僅用于宣傳用途,僅供參考
型號:OTF-1200X-80-I-F3LV
產品概述:OTF-1200X-80-I-F3LV是一款通過CE認證的單溫區管式爐CVD系統,其管徑為80mm,采用機械泵,供氣系統為三路浮子供氣系統,其真空度可達到 10-2 torr.
高溫爐殼體 | · 采用雙層殼體結構,并帶有風冷系統 內爐膛表面涂有1750℃進口氧化鋁涂層材料提高反射率及爐膛潔凈度 |
功率 | 2.5 KW |
電壓 | AC 208-240V 單相, 50/60 Hz |
加熱元件 | 摻鉬鐵鉻鋁合金(表面涂有氧化鋯涂層,使其延長使用壽命) |
工作溫度 | 1200℃ |
連續工作溫度 | 1100℃ |
升溫速率 | ≤20 ℃ |
爐管材質和尺寸 | 石英管: OD: 80mm x ID: 75 mm x Length: 1000 mm |
加熱區長度 | 400 mm |
控溫系統 | · PID30段程序化控溫 控溫儀表操作視頻 |
控溫精度 | +/- 1 ℃ |
真空密封系統 | 兩個不銹鋼密封法蘭(上面已安裝真空計和截止閥),漏氣率6 mtorr/min
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真空泵 | 采用雙旋機械泵,機械泵上安裝有油污過濾器,可以過濾真空泵工作時產生的油煙,減少泵油的損耗,保護環境和人體健康,過濾的最小微粒直徑為0.3微米。 |
防腐型真空計 | · 可選:本公司進口的防腐型數字式真空顯示計,其測量范圍為3.8x10-5 至 1125 Torr. 不需因測量氣體種類不同而需要系數轉換。(點擊圖片查看詳細介紹)
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混氣系統 | · 三個浮子流量計 · 三路浮子量程分別為 · 10-100 cc/min. · 16-160 cc/min. · 25-250 cc/min 內部安裝有一混氣罐 |
尺寸 | · 爐體尺寸: 550 x 380 x 520mm 混氣系統尺寸: 600x600x597 mm |
尺寸 | · 爐體尺寸: 550 x 380 x 520mm 混氣系統尺寸: 600x600x597 mm |
凈重 | 約60kg |
開門斷電 | 為保證使用安全,該電爐為開門斷電設計 |
運輸重量 | 200 |
質保期 | 一年質保期(不包括爐管 、加熱元件和密封圈的損耗件) CE Certificate |
使用注意事項 | · 爐管內氣壓不可高于0.02MPa · 由于氣瓶內部氣壓較高,所以向爐管內通入氣體時,氣瓶上必須安裝減壓閥,建議在本公司選購減壓閥,本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全 · 當爐體溫度高于1000℃時,爐管內不可處于真空狀態,爐管內的氣壓需和大氣壓相當,保持在常壓狀態 · 進入爐管的氣體流量需小于200SCCM,以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊 · 石英管的長時間使用溫度<1100℃ 對于樣品加熱的實驗,不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱,則需時刻關注壓力表的示數,若氣壓表示數大于0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥,以防意外發生(如爐管破裂,法蘭飛出等) |
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