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LED顯微曝光系統 分析電子顯微鏡

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參   考   價: 0.01

訂  貨  量: ≥1 臺

具體成交價以合同協議為準

產品型號UTA系列

品       牌其他品牌

廠商性質經銷商

所  在  地無錫市

聯系方式:小周查看聯系方式

更新時間:2023-11-29 11:25:27瀏覽次數:222次

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經營模式:經銷商

商鋪產品:49條

所在地區:江蘇無錫市

聯系人:小周 (助理)

產品簡介
產地 進口    

介紹:
顯微鏡 LED曝光系統 UTA系列,為不需使用光罩即可以完成Pattern曝光的投影式曝光設備。
使用金相顯微鏡和 LED 光源 DLP 光機,即可在涂布光阻的基板上進行數個微米 分辨率的曝光。
Pattern 形狀可以使用計算機繪圖自由制作。
可在一般環境操作,樣品外觀及尺寸限制小,價格比一般電子束曝光機更便宜、方便性更高,可以大幅降低研發成本。

詳細介紹

介紹:

1)顯微鏡 LED曝光系統 UTA系列,為不需使用光罩即可以完成Pattern曝光的投影式曝光設備。 

2)使用金相顯微鏡和 LED 光源 DLP 光機,即可在涂布光阻的基板上進行數個微米 分辨率的曝光。 

3)Pattern 形狀可以使用計算機繪圖自由制作。 

4)可在一般環境操作,樣品外觀及尺寸限制小,價格比一般電子束曝光機更便宜、方便性更高,可以大幅降低研發成本。


特色:

1、使用顯微鏡和 DLP 組合之曝光系統,可比既有系統擁有更具競爭性之價格。 

2、軟件操作簡便,可以自由繪制曝光Pattern。 

3、透過物鏡倍率選擇,調整曝光范圍大小與分辨率。

4、可以制造微米等級尺寸的 Pattern 。


使用案例:

√形成薄膜 FET 以及 Hole 效果量測用試料之電極。 

√Mo 原石取出薄片,形成原石特性評估的電極。




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