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超高分辨場發射掃描電子顯微鏡 SU8600系列

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更新時間:2023-09-30 09:33:36瀏覽次數:158次

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產品簡介

隨著快速數據采集和數據處理技術的發展,電子顯微鏡進入了一個不僅重視數據質量,而且重視其采集過程的時代。SU8600系列秉承了Regulus8200系列的高質量圖像、大束流分析及長時間穩定運行的冷場成像技術,同時還大大提升了高通量、自動數據獲取能力。*設備照片包含選配項。

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超高分辨場發射掃描電子顯微鏡 SU8600系列

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超高分辨場發射掃描電子顯微鏡 SU8600系列

隨著快速數據采集和數據處理技術的發展,電子顯微鏡進入了一個不僅重視數據質量,而且重視其采集過程的時代。SU8600系列秉承了Regulus8200系列的高質量圖像、大束流分析及長時間穩定運行的冷場成像技術,同時還大大提升了高通量、自動數據獲取能力。

*
設備照片包含選配項。

  • 特點

  • 規格

特點

特點

超高分辨成像

日立的高亮度電子源可保證了即使在超低著陸電壓下,也可獲得超高分辨的圖像。

0.8 kV電壓條件下觀察RHO型沸石的實例。左圖為顆粒整體的形貌,右圖為放大圖像,顆粒表面細微的臺階結構清晰可見。低電壓觀察對于減少電子束損傷和獲取表面形狀信息較為有效。

樣品提供:日本工業技術綜合研究所 上村 佳大 先生

高襯度的低加速電壓背散射圖像

3D NAND截面觀察;
在低加速電壓條件下,背散射電子信號能夠明顯的顯示出氧化硅層和氮化硅層的襯度差別。


3D NAND截面觀察(加速電壓:1.5kV)

快速BSE圖像:新型閃爍體背散射電子探測器(OCD)*

由于使用了新型的OCD探測器,即使掃描時間不到1秒,也仍然可以觀察到Fin-FET清晰的深層結構圖像.


5納米制程SRAM的內部結構觀察 (加速電壓:30kV,掃描時間<1秒)

*的自動化功能*

EM Flow Creator 允許客戶創建連續圖像采集的自動化工作流程。EM Flow Creator將不同的SEM功能定義為圖形化的模塊,如設置放大倍率、移動樣品位置、調節焦距和明暗對比度等。用戶可以通過簡單的鼠標拖拽,將這些模塊按邏輯順序組成一個工作程序。經過調試和確認后,該程序便可以在每次調用時自動獲得高質量、重現性好的圖像數據。

靈活的用戶界面

原生支持雙顯示器,提供靈活、高效的操作空間。6通道同時顯示與保存,實現快速的多信號觀測與采集。

1,2,4 或6通道信號可在同一個顯示器上同時顯示,可切換內容包括SEM各探測器以及樣品室相機和導航相機。可以通過使用兩個顯示器來擴展工作空間,可定制的用戶界面以提高工作效率。

規格

機型SU8600 系列
電子光學系統 二次電子像分辨率 0.6 nm@15 kV
0.7 nm@1 kV *
放大倍率 20 to 2,000,000 x
電子槍 冷場發射電子源,支持柔性閃爍功能,包含陽極烘烤系統。
加速電壓 0.5 to 30 kV
著陸電壓 0.01 to 20 kV
探測器 (部分為選配項) 上探測器(UD)
UD ExB能量過濾器,包含SE/BSE信號混合功能
下探測器(LD)
頂探測器(TD)
TD能量過濾器
鏡筒內背散射電子探測器(IMD)
半導體式背散射電子探測器 (PD-BSED)
新型閃爍體式背散射電子探測器(OCD)
陰極熒光探測器(CLD)
掃描透射探測器(STEM Detector)
附件 (部分為選配項) 導航相機、樣品室相機、X射線能譜儀(EDS)、背散射電子衍射探測器(EBSD)
軟件 (部分為選配項) EM Flow Creater、HD Capture( 40,960×30,720 像素)
樣品臺 馬達驅動軸 5軸馬達驅動(X/Y/R/Z/T)
馬達驅動軸 X:0~110 mm
Y:0~110 mm
Z:1.5~40 mm
T:-5~70°
R:360°
樣品室 樣品尺寸 直徑:150 mm
*
減速模式下

關聯產品分類

  • 聚焦離子束系統 (FIB/FIB-SEM)
  • TEM/SEM樣品前處理裝置

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