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蘇州中芯啟恒科學儀器有限公司
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EZ4-S-PP勻膠機適用于給小碎片至4英寸晶圓大小的基底旋涂光刻膠及其他試劑，使用工業級直流馬達和單片機控制，文本顯示器人機界面。EZ4-S-PP勻膠機設計結構緊湊、簡單易用，可多步程控操作，尺寸小巧，易于放入手套箱內操作。EZ4-S-PP采用耐腐蝕PP外殼，PP材料內腔，經久耐用。...
產品名稱：小巧型勻膠機
產品型號：EZ4-S-PP
1. EZ4-S-PP小巧型勻膠機簡介：
EZ4-S-PP勻膠機適用于給小碎片至4英寸晶圓大小的基底旋涂光刻膠及其他試劑，使用工業級直流馬達和單片機控制，文本顯示器人機界面。EZ4-S-PP勻膠機設計結構緊湊、簡單易用，可多步程控操作，尺寸小巧，易于放入手套箱內操作。EZ4-S-PP采用耐腐蝕PP外殼，PP材料內腔，經久耐用。
2. EZ4-S-PP小巧型勻膠機性能參數：
(1) 轉速范圍：100-9999rpm
(2) 轉速分辨率：1rpm
(3) 加速度可調范圍：100-9999rpm/s
(4) 單步步長：3000s
(5) 時間分辨率：1s
(6) 寬電壓適用：AC100~230V輸入，中英文可選
(7) 單步或多步運行可選，最多可設置5組5步程序
(8) 標配10mm、25mm、55mm三種規格真空載物盤
(9) 外形尺寸：210mm（W）*265mm（D）*213mm（H）
3. EZ4-S-PP小巧型勻膠機特性優點：
(1) 外形小巧，適合手套箱內操作
(2) 耐腐蝕透明蓋，恒定扭矩定位鉸鏈
(3) 一體開模內腔，易拆卸清洗，方便更換
(4) 液晶文本顯示，彩色面膜按鍵，簡單易用
(5) 加減速度可控可調，可設置多步程序運行控制
(6) 直流無刷電機，推薦旋涂尺寸：4寸圓形底物
(7) 耐腐蝕PP外殼可選（EZ4-S-PP），鋁合金外殼可選（EZ4-S）
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