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美國(guó) Entegris 英特格 WG2F02RR2F Mini XL 直通式氣體過(guò)濾器

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在氣體面板、氣體柜和晶圓加工需要超純氣體的任何地方進(jìn)行的微粒過(guò)濾

詳細(xì)介紹

在氣體面板、氣體柜和晶圓加工需要超純氣體的任何地方進(jìn)行的微粒過(guò)濾。

材料	濾芯	由模制 PFA 結(jié)構(gòu)支撐的疏水性 PTFE 膜
材料	住房	電拋光 316L 不銹鋼
下游清潔度	粒子	<0.03><1>³) >0.01µm
下游清潔度	揮發(fā)物	<10 ppb="">
移除等級(jí)	0.0015 微米
表面處理內(nèi)飾	≤10 微英寸 Ra
氦泄漏等級(jí)	合格的	2 × 10 ^-10 atm/cc-sec
氦泄漏等級(jí)	已測(cè)試	1 × 10 ^-9 atm/cc-sec
濃度分辨率	±0.015 ppm
運(yùn)行條件	入口壓力：	20.7 兆帕（207 巴；3000 磅/平方英寸）@ 23°C (73°F)
	正向壓差：	0.4 MPa（4 巴；60 psid）@ 23°C（73°F）
	壓差：	0.07 兆帕（0.7 巴；10 磅/平方英寸）@ 23°C (73°F)
	工作溫度：	120°C (248°F)
顆粒保留	大于 99.9999999% (9 LRV) 去除所有顆粒 @ 100 slpm（以穿透性的顆粒尺寸為參考）
流量等級(jí)	參考性能數(shù)據(jù)