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武漢嘉儀通科技有限公司
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TC-Wafer校準儀 快速退火爐溫場均勻性校準，本儀器是一款應用于晶圓溫場均勻性實時測量校準的儀器設備,并能生成報告。
TC-Wafer校準儀 快速退火爐溫場均勻性校準，本儀器是一款應用于晶圓溫場均勻性實時測量校準的儀器設備,并能生成報告。
產品特點：
支持最多20路實時測量晶圓溫度；
溫度均勻性實時曲線圖和數值顯示；
采集數據Excel表格導出，并生成報表；
晶圓溫點分布直觀顯示并自動生成校準報告；
可快速更換TC-wafer及自定義功能;
大屏高分辨率顯示；
數據最多采集10次/秒；
65瓦Type-C快速充電；
內置大容量電池，使用可達4小時；
10000條數據存儲量；
支持多種傳輸方式，如U盤、藍牙、無線網絡；
便攜一體化設計；
......
TC-Wafer校準儀 快速退火爐溫場均勻性校準 產品應用:
RTP設備生產廠家
使用RTP設備客戶
TC-wafer生產廠家
其他晶圓熱處理設備
產品參數：
項目 | TC-20參數 | TC-10參數 |
續航 | 待機15小時、連續使用4小時 | 待機15小時、連續使用4小時 |
屏幕 | 13寸、分辨率：2880*1920 | 10寸、分辨率：1920*1280 |
數據采集速率 | 100ms ~ 450ms | 100ms ~ 450ms |
使用范圍 | 室溫~ 900℃ | 室溫~ 900℃ |
單一點位溫度偏差 | ±1.1℃/0.4％ | ±1.1℃/0.4％ |
晶圓尺寸 | 2吋 ~12吋 | 2吋 ~8吋 |
熱電偶測溫點數 | 1 ~ 20 | 1 ~ 10 |
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