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武漢嘉儀通科技有限公司
產地 | 國產 |
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武漢嘉儀通科技有限公司成立于2009年,是一家技術自主創新的國家新技術企業。公司集快速退火爐研發、市場和技術服務于一體的快速退火爐廠家
,本公司生產銷售的快速退火爐廠家 半導體退火設備覆蓋1-12吋樣品測試,分為科研與產線兩種應用場景類型共8款機型。
武漢嘉儀通科技有限公司成立于2009年,是一家技術自主創新的國家新技術企業。公司集快速退火爐研發、市場和技術服務于一體的快速退火爐廠家,本公司生產銷售的快速退火爐廠家 半導體退火設備覆蓋1-12吋樣品測試,分為科研與產線兩種應用場景類型共8款機型。
快速退火爐廠家 半導體退火設備產品特點:
快速加熱和降溫: 可控升溫速率可達50 ℃/s,特定條件下可以達到100 ℃/s。冷壁水冷設計能夠達到較大的降溫速率,特定條件下可達30 ℃/s。
精確控溫: 采用工業級溫控器進行PID精確控溫,目標溫度與設定溫度曲線一致性高,可實現室溫至1200 ℃的溫度精確控制。 適應多種工藝環境: 滿足多種工藝氣氛下的熱處理(氮氣、氬氣等)。同時,通過選配真空泵,可以在真空條件下進行退火,真空度可達10-3Pa。
配備觀察窗口: 通過觀察窗口,可以實時觀察熱處理過程中的樣品變化。同時,可以結合相關測試方法進行原位測試分析。
超高安全系數: 采用爐壁超溫報警系統和冷卻水流量報警系統,多方位保障儀器使用安全。
快速退火爐廠家:擁有自主研發技術和制造能力,能快速反應客戶售后需求。
快速退火爐技術參數:
型號 | 1-12英寸系列 |
溫度 | 1200℃ |
升溫速率 | 50℃/s |
溫度均勻性 | ≦1%設定溫度 |
溫度控制 | 選用工業級溫控器,控溫精度±0.1℃ |
溫度傳感器 | 標準K型熱電偶 |
降溫速率 | 1200℃→400℃,200℃/min 400℃→100℃,20℃/min (自然冷卻) |
樣品尺寸 | 1-12英寸樣品 |
快速退火爐廠家 半導體退火設備 服務的客戶:
公司的快速退火爐服務于的大學有:清華大學、復旦大學、南京大學、浙江大學等近大學;
服務的重要科研院所:中科院微電子所、半導體所、微系統所、綿陽九院等;
服務的半導體企業有:華為海思、三安光電、敏而精密、澤達等等頭部半導體企業等等。
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