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行業(yè)產(chǎn)品

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武漢嘉儀通科技有限公司


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RTP快速退火爐 嘉儀通 半導(dǎo)體退火設(shè)備 快速溫變試驗箱

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參   考   價: 560000 540000

訂  貨  量: 1-2 件 ≥3 件

具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號RTP-3-04

品       牌其他品牌

廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

所  在  地武漢市

聯(lián)系方式:查看聯(lián)系方式

更新時間:2023-06-09 14:43:19瀏覽次數(shù):187次

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經(jīng)營模式:生產(chǎn)廠家

商鋪產(chǎn)品:15條

所在地區(qū):湖北武漢市

聯(lián)系人:張 (經(jīng)理)

產(chǎn)品簡介
產(chǎn)地 國產(chǎn)    

RTP快速退火爐 嘉儀通 半導(dǎo)體退火設(shè)備采用紅外輻射加熱技術(shù),可實現(xiàn)大尺寸樣品(4英寸樣品)快速升溫和降溫,同時搭配超高精度溫度控制系統(tǒng),可達(dá)到好的溫場均勻性,對材料的快速熱處理(RTP)、快速退火(RTA)、快速熱氧化(RTO)、快速熱氮化(RTN)及金屬合金化等研究和生產(chǎn)工作起到重要作用。

詳細(xì)介紹

RTP快速退火爐 嘉儀通 半導(dǎo)體退火設(shè)備采用紅外輻射加熱技術(shù),可實現(xiàn)大尺寸樣品(4英寸樣品)快速升溫和降溫,同時搭配超高精度溫度控制系統(tǒng),可達(dá)到好的溫場均勻性,對材料的快速熱處理(RTP)、快速退火(RTA)、快速熱氧化(RTO)、快速熱氮化(RTN)及金屬合金化等研究和生產(chǎn)工作起到重要作用。

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產(chǎn)品特點

RTP快速退火爐 嘉儀通 半導(dǎo)體退火設(shè)備有以下特點:

  • 可測大尺寸樣品:可測單晶片樣品的尺寸為4英寸。

  • 可遠(yuǎn)程操作:提供遠(yuǎn)程監(jiān)控模塊。

  • 壓力控制系統(tǒng)創(chuàng)新設(shè)計:高精度控制壓力,以滿足不同的工藝要求。

  • 存儲熱處理工藝:方便工藝參數(shù)調(diào)取,提高實驗效率,數(shù)據(jù)可查詢。

  • 快速控溫與高真空:升溫速率可達(dá)150℃/s,真空度可達(dá)到10-3Pa。

  • 程序設(shè)定與氣路擴展:可實現(xiàn)不同溫度段的精確控制,進行降溫段的自動轉(zhuǎn)接,并能夠?qū)に嚥藛芜M行保存,方便調(diào)用。采用MFC精確控制氣體流量,實現(xiàn)不同氣氛環(huán)境(真空、氮氣等)下的熱處理。

  • 特別的腔體空間設(shè)計:保證大尺寸樣品的溫場均勻性 ≤1.5%。

  • 全自動智能控制:采用全自動智能控制,包括溫度、時間、氣體流量、真空、冷卻水等均可實現(xiàn)自動控制。

  • 超高安全系數(shù):采用爐門安全溫度開啟保護、溫控器開啟權(quán)限保護以及設(shè)備急停安全保護三重安全措施,多方位保障設(shè)備使用安全。

  • 國產(chǎn)退火爐:擁有自主研發(fā)技術(shù)和制造能力,能快速反應(yīng)客戶售后需求。



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