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單晶生長(zhǎng)爐

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河北胤丞光電科技有限公司

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

技術(shù)參數(shù)：1、爐體：真空爐室尺寸800*1200mm，雙層通水爐壁用ICr18Ni9Ti不銹鋼，爐門為側(cè)開(kāi)門，爐門上設(shè)有通水石英觀察窗

詳細(xì)介紹

技術(shù)參數(shù)：

1、爐體：真空爐室尺寸Φ800*1200mm，雙層通水爐壁用ICr18Ni9Ti不銹鋼，爐門為側(cè)開(kāi)門，爐門上設(shè)有通水石英觀察窗。

2、中頻電源：產(chǎn)品應(yīng)利用硅元件及IGBT模塊將工頻三相交流電源變換成單相中頻電源。感應(yīng)電源控制器使用不控整流技術(shù)，具有高功率因素（＞0.95），低電網(wǎng)污染，同時(shí)具有恒電流及恒功率二種控制方式，可始終保持控制器處于有效功率輸出模式，適用于需要頻繁起動(dòng)或長(zhǎng)時(shí)間運(yùn)行。人機(jī)控制界面應(yīng)具有通訊功能，RS-485連接方式，可通過(guò)通訊遠(yuǎn)程讀寫控制器內(nèi)參數(shù)和運(yùn)行狀態(tài)。

　　1)中頻功率：80kw

　　2)頻率：2.5-8KHz（可選）

　　3)功率因數(shù)：>0.9

　　4)電源轉(zhuǎn)換效率:>70-95%(中頻電源在使用過(guò)程中隨溫度變化即功率和轉(zhuǎn)換效率隨之變化)

　　5)功率穩(wěn)定精度：<0.2%

3、真空系統(tǒng)：

　　1)要求配備機(jī)械泵2X-8。

　　2)真空度：（冷態(tài)空載）≤5Pa(數(shù)顯真空計(jì))

　　3)進(jìn)氣流量：1~10L/min(可選配質(zhì)量流量計(jì))

　　4)微正壓恒壓自動(dòng)控制:≤0~0.04Mpa

4、加熱系統(tǒng)：需要中頻感應(yīng)加熱，工作溫度:100℃～2000℃，工作電源：AC380V/50HZ，測(cè)溫方式:B型熱電偶:

　　1)≤1200℃時(shí)功率控制

　　2)≥1200℃時(shí)溫度控制

5、控溫方式：需使用液晶觸摸屏顯示，設(shè)置更快捷,設(shè)備運(yùn)行狀態(tài)更直觀，設(shè)定數(shù)據(jù)和操作都是圖文界面，操作方便；針對(duì)數(shù)據(jù)的存儲(chǔ)、輸出，可通過(guò)USB接口復(fù)制數(shù)據(jù)到計(jì)算機(jī)上長(zhǎng)期保存，能存儲(chǔ)多條程序。50段編程式控溫曲線，無(wú)需值守（全自動(dòng)升溫、恒溫、降溫）。

關(guān)鍵詞：真空計(jì) 質(zhì)量流量計(jì) 熱電偶

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