樣品環境溫濕度傳感器測試氣體配比控制器。優勢? 采用的恒功率傳感器原理，在溫度變化時進行相應的補償，從根本上抑制了流量計的零漂現象，保證了傳感器線性。? CS200C產品采用專門的金屬表面處理技術，與氣體接觸的表面金屬材料全部使用316LVV，CS200C產品金屬表面粗糙度更可達10RA以下，CS200D產品金屬表面粗糙度可達25RA。

詳細介紹

樣品環境溫濕度傳感器測試氣體配比控制器

溫濕度控制這方面我們已經拿捏的穩穩的了用于溫濕度傳感器校準

濕敏材料測試

氣溶膠和顆粒尺寸

樣品環境

X-射線儀器

紅外與拉曼光譜

熱重分析

電子動態天平腔

動態機械熱分析 (DMA)

材料的機械和紋理性能檢測

加速檢測和穩定性裝置

光學顯微鏡

激光顯微鏡與拉曼光譜

原子力顯微鏡與掃描電鏡

優勢

• 采用的恒功率傳感器原理，在溫度變化時進行相應的補償，從根本上抑制了流量計的零漂現象，保證了傳感器線性。

• CS200C產品采用專門的金屬表面處理技術，與氣體接觸的表面金屬材料全部使用316LVV，CS200C產品金屬表面粗糙度更可達10RA以下，CS200D產品金屬表面粗糙度可達25RA。

• CS200產品嚴格按照SEMI標準生產制造，尺寸符合通用的SEMI標準。

• CS200系列產品支持±8V~±16V雙電源, +14V~+28V單電源供電;數字，模擬輸入輸出。

• 產品支持RS485，DeviceNet通訊方式。

• 具有多氣體多量程功能、自動歸零功能、報警功能、軟啟動功能、延遲功能及功能強大的免費客戶端使用軟件。

技術參數

CS200流量計-樣品環境溫濕度傳感器測試氣體配比控制器
型號	CS200-A		CS200-C		CS200-D
閥類型	常開(流量規格 ≤ 30SLM) 或常閉	無	常開或常閉	無	常開或常閉	無
流量規格(N2)	(0～5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM (0～1,2,3,5,10,20,30,50) SLM		(0～2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM (0～1,2,3,5,10,20,30) SLM
準確度	±1.0% S.P. (≥35% F.S.) ±0.35% F.S.(＜35% F.S.)
線性	±0.5% F.S.
重復精度	±0.2% F.S.
響應時間	≤ 1sec		≤ 0.8sec
工作壓差范圍	0.05～0.35MPa 流量規格≤10SLM 0.1～0.35MPa 10＜流量規格≤30SLM 0.2～0.45MPa 30＜流量規格≤50SLM	＜0.02 MPa	0.05～0.35MPa 流量規格≤10SLM 0.1～0.35MPa 流量規格＞10SLM	＜0.02 MPa	0.05～0.35MPa 流量規格≤10SLM 0.1～0.35MPa 流量規格＞10SLM	＜0.02 MPa
*大工作壓力	0.45MPa
溫度系數	零點： ≤±0.05% F.S./℃；調節時： ≤±0.1% F.S./℃ 流量規格≤30SLM 調節時： ≤±0.2% F.S./℃ 流量規格＞30SLM		零點： ≤±0.02% F.S./℃；調節時： ≤±0.05% F.S./℃
耐壓強度	3MPa
漏率	1×10^-10 Pa·m³ / sec He		1×10^-11 Pa·m³ / sec He
密封材料	氟橡膠		金屬密封
工作環境溫度	（5～45）℃		（0～50）℃
輸入信號	數字： RS485 或 DeviceNet 或 ProfiBus 模擬：(0～5)VDC 或(4～20)mA 或(0～20)mA	無	數字： RS485 或DeviceNet 或 ProfiBus 模擬：(0～5)VDC 或(4～20)mA 或(0～20)mA	無	數字： RS485 或DeviceNet 或 ProfiBus 模擬：(0～5)VDC 或(4～20)mA 或(0～20)mA	無
輸出信號	數字：:RS485 或 DeviceNet 或 ProfiBus 模擬：(0～5)VDC 或(4～20)mA 或(0～20)mA
零漂	在沒有零點校正時＜0.6%F.S./年
電源	±8 ～ ±16 VDC (雙極)或 +14 ～ +28 VDC (單極)
表面化學成分	常態		Cr/Fe 比例 ≥2.0, CrO 厚度 ≥ 20 （埃）		常態
表面粗糙度	25 Ra		10 Ra		25 Ra
標準接頭形式	雙卡套 φ6；雙卡套 1/4´´；雙卡套 3/8´´；VCR1/4´´陽接頭；雙卡套φ3；雙卡套 1/8´´；VCO 1/4";φ6(內)x1 軟管接頭; φ5(內)x1.5 軟管接頭； φ4(內)x1 軟管接頭;雙卡套φ10mm；A 型密封接頭;		雙卡套φ3；雙卡套φ6；雙卡套 1/4；VCR1/4 陽接頭； 1.5´´C 型密封接頭;1.5´´ W型密封接頭
電源接頭形式	D 型 9 針陽接頭；D 型 15 針陽接頭；DeviceNet 接頭； ProfiBus 接頭；模擬接頭
重量	1 Kg	0.8Kg	1.2Kg	1Kg	1.2Kg	1Kg