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羅茨干式真空泵機組（JGM系列）

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更新時間：2023-04-04 07:34:22瀏覽次數：657次

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產品簡介

羅茨干式真空泵機組（JGM系列）

詳細介紹

技術指標

項目內容	性能指標
型號	GM-100A	JGM-500A	JGM-1000A
抽速	100m³/h	480m³/h	800m³/h
極限壓力 (僅軸封氮氣吹洗)	10Pa	2X10^-1Pa	2X10^-1Pa
電源	三相 380/220V 50Hz	三相 380/220V 50Hz	三相 380/220V 50Hz
電機功率	1.5KW	3KW	3.8KW
轉速	2865rpm	2865rpm	6000rpm
環境溫度	5-40 ℃	5-40℃	5-40 ℃
氮氣流量	0-60slm	0-60slm	0-14slm
噪聲	<70dB	<70dB	<60dB
進氣口連接法蘭	KF50	DN 100 ISO-K	ISO 100
排氣口連接法蘭	KF40	KF40	KF25
外型尺寸	1030×405×530 (mm)	1030×405×910 (mm)	693×280×694 (mm)
重量	255 kg	380kg	230kg

應用領域

主要的應用領域是集成電路、太陽能電池等設備中的無油抽氣系統，適用于中度腐蝕工藝和清潔工藝環境，如進樣室、傳輸腔、PVD、硅刻蝕、金屬刻蝕、計量、光刻等。
其它的應用領域包括真空冶金工業的真空脫氣、真空熔煉、鋼水真空處理、空間模擬、低密度風洞等裝置中抽除非腐蝕性氣體，化工、食品、醫藥、電機制造等工業的蒸餾、蒸發、干燥等。

產品說明

羅茨干式真空泵機組 (JGM系列) 產品特點是無油，可獲得清潔的真空環境，可抽除可凝性氣體，直接啟動、啟動快、抽速大、高真空、可實現連續運轉，零維護、能耗低、體積小、噪音低。

關鍵詞：電池干式真空泵

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