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日本JIMA RT RC-05B分辨率測試卡,JIMA分辨率測試卡詳細介紹：
JIMA RT RC-05B分辨率測試卡是一款采用最新半導體光刻技術制作的微型分辨率測試卡。
RC-05B 分辨率測試卡用于校準和監控系統分辨率，確保微焦點或納米焦點X射線檢測系統獲得高質量的結果。JIMA RT RC-05B支持3微米至50微米（3 µ m至50 µ m）的分辨率。這對應于6微米和100微米（6 µ m和100 µ m）之間的焦斑尺寸。
16組I&T布局，2x2 mm，8x8 mm硅基，如上圖
下圖為尺寸為5 μm I&T的圖像
Au Slit的數量為3行和2個空格
寬度3至10 μm：T形布局
寬度15至50 μm：I形布局L/S寬度
L/S寬度：3、4、5、6、7、8、9、10、15、20、25、30、35、40、45、50 μm
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