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廣東匯成真空科技股份有限公司
該設備是將金屬或氧化物蒸發到PET、OPP、PVC、CPP等高分子薄膜、紙、金屬箔上的沉積系統,可用于制造電容器。
應用 | 電容器薄膜 | |
蒸發源 | 電阻加熱 | |
基材 | PET、OPP、PVC、CPP等高分子薄膜、紙、金屬箔等 | |
基材尺寸(寬度) | 670 mm max. | 670 mm max. |
卷繞率 | 1,200 m/min max. | |
膜厚分布 | ±5% (根據沉積條件而變化) | |
膜厚監測儀 | 傳動監控器、渦流監控器、接觸式電阻值監控器等 | |
前/后處理機制 | 基板加熱、交直流轟擊、射頻轟擊等 | |
主要疏散系統 | 油擴散泵、油擴散噴射泵 |
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