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多功能光學磁控濺射鍍膜機

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更新時間:2023-10-29 11:27:40瀏覽次數:180次

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產品簡介

旋轉陰極裝置與行內普通平面靶裝置相比靶材使用周期與利用效率顯著提高。可客制化的基板工件架結構定制,給客戶產品擺放達到的利用空間。全自動一體的提拉升降的轉架裝置,大幅度減少機器開關門時間,大大提高了生產效率與工藝穩定性。

詳細介紹

旋轉陰極裝置與行內普通平面靶裝置相比靶材使用周期與利用效率顯著提高。

可客制化的基板工件架結構定制,給客戶產品擺放達到的利用空間。
全自動一體的提拉升降的轉架裝置,大幅度減少機器開關門時間,大大提高了生產效率與工藝穩定性。
高效率真空泵組配比與精密的腔體結構使我司抽氣效率達到行業水平。
匯成RF離子源具有工作范圍廣能量均衡,高離化率,超穩定工作效率,低耗能等特點。
可利用時間精準控制薄膜厚度,達到設計工藝要求,節省晶控,光控環節,為客戶省去大量的膜厚儀耗材。
可生產高折射率氮化薄膜,提高薄膜硬度性能。
低溫成膜,可應對各種用途。
可依靠負載鎖定裝置保持穩定的成膜品質。
利用自動濺射控制裝置,使濺射工藝實現了自動化。
可選“校正板外部調節機構”。
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AR、UV/IR截止濾光片、AF、硬質AR膜、硬質膜、增強反射膜、裝飾膜、帶通濾光片、RGB濾光器、光觸媒、HR膜等

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關鍵詞:真空泵

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