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產品介紹
technomate氣動柱塞泵 增壓泵 高壓泵KPW的介紹
technomate氣動柱塞泵 增壓泵 高壓泵KPW的介紹
產品概要
一種內置氣動柱塞泵的高壓水發生裝置，適合安裝在集氣壓調節器、氣壓表、排氣壓力表等為一體的裝置中。
用法
用于晶圓IPA清洗、溶劑剝離等高壓噴射清洗
規格
模型
KPW系列
排氣壓力
KPW-20：0.98~9.8MPa
KPW-30：1.47~14.7MPa
KPW-37.5：1.76~17.6MPa排出流量
KPW-20：1.13L/min
KPW-30：0.71L/min
KPW-37.5：0.58L/min
驅動氣壓
0.05～0.5MPa
耗氣量
約70L（泵沖程數為60SPM時）
濕密封
純水、IPA ??? FKM
NMP ??? Kalrez
產品概要
氣動柱塞泵不使用電力，因此可用于防爆區域。適合并入升降設備等。
用法
用于晶圓IPA清洗、溶劑剝離等高壓噴射清洗
規格
模型
FSBL-50
排氣壓力
2.5~25Mpa
排出流量
1.68升/分鐘
驅動氣壓
0.05~0.5Mpa
先導氣壓
0.3~0.5Mpa
濕密封 純水，IPA
氟橡膠
NMP
卡爾雷茲
產品概要
將低水壓的純凈水加壓供給設備
用法
各種清洗設備、
切粒機主軸電機冷卻、
去毛刺等。
規格
模型
PU300A
泵
級聯不銹鋼泵
400W排出流量
13L/min/16L/min 50/60Hz
at 0.5MPa適用流體
純凈水
展示
排氣壓力表 0-0.6MPa
排氣壓力調節閥（溢流方式）遙控功能
水泵運行/停止指令 DC24V
安全操作
?外部切斷動作時溢流閥自動切換內部循環溢流動作壓力0.5MPa
?循環水溫上升檢測動作溫度50℃
?過電流/漏電保護功能斷路器動作電源
AC200V ±10% 3Φ
50/60Hz 1.2kVA外形尺寸
W228*H336*D520
住房
不銹鋼發紋飾面
重量
約25公斤
使用環境
室內，溫度10-35°C，
濕度30-80%
產品概要
將低水壓的純凈水加壓供給設備
用法
各種清洗設備、
切粒機主軸電機冷卻、
去毛刺等。
規格
模型
PU201A
泵
級聯不銹鋼泵
200W排出流量
17L/min/9L/min 50/60Hz
4Kgf/cm2 小時適用流體
純凈水
遙控功能
水泵運行/停止指令 DC24V
安全操作
?外部切斷動作時通過泄壓閥自動切換內循環泄壓動作壓力5Kgf/cm2
?循環水溫上升檢測動作溫度50℃
?過電流/漏電保護功能斷路器動作電源
AC100V ±10% 50/60Hz 8A
外形尺寸
W210*H245*D390
住房
重量
約15公斤
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