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L12542haradacorpVUV真空紫外線電離器 光照射型
參考價: 550000
訂貨量: 1000
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • L12542 產(chǎn)品型號
  • 其他品牌 品牌
  • 經(jīng)銷商 廠商性質(zhì)
  • 深圳市 所在地

訪問次數(shù):901更新時間:2023-04-04 16:30:53

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產(chǎn)品簡介
haradacorpVUV真空紫外線電離器 光照射型 L12542
VUV (Vacuum Ultraviolet) Ionizer L12542 是可以解決半導(dǎo)體、FDP 等制造過程中惰性氣體或減壓環(huán)境中的靜電問題的靜電消除系統(tǒng)。與光照射型光電離子發(fā)生器一樣,不存在電極產(chǎn)生灰塵的問題,可以實現(xiàn)干凈的靜電消除
產(chǎn)品介紹

haradacorpVUV真空紫外線電離器 光照射型 L12542 

haradacorpVUV真空紫外線電離器 光照射型 L12542 


光照射型

使用光電離的靜電消除器

VUV(真空紫外線)電離器 L12542


減壓靜電消除技術(shù)

VUV (Vacuum Ultraviolet) Ionizer L12542 是可以解決半導(dǎo)體、FDP 等制造過程中惰性氣體或減壓環(huán)境中的靜電問題的靜電消除系統(tǒng)。與光照射型光電離子發(fā)生器一樣,不存在電極產(chǎn)生灰塵的問題,可以實現(xiàn)干凈的靜電消除。

特征

  • (1) 減壓下的最大效果

  • 由于壓力降低時離子的平均自由程變長,因此靜電消除性能進一步增強。

  • (2) 剩余電位為0V

  • 由于正負離子和電勢在空間均勻分布,所以被除靜電物體的殘余電勢為0V。

  • (3) 無氣流依賴性

  • 在紫外線照射法中,由于氣體在寬范圍內(nèi)被離子化,因此無論氣體的流動狀態(tài)如何,都可以獲得穩(wěn)定的靜電消除性能。

  • (4) 無電磁噪音

  • 由于使用紫外線照射的電離系統(tǒng),不會產(chǎn)生電磁噪聲。

  • (5) 適用于任何制造設(shè)備

  • 該系統(tǒng)僅由三點組成:氘燈、電源裝置和法蘭。易于連接到制造設(shè)備和運輸隧道。

  • (6) 免維護

  • 無需離子平衡調(diào)整等日常維護。只有氘燈需要更換。

VUV離子發(fā)生器L12542基本規(guī)格
光源(氘燈)
方法真空UV照射法
尺寸60φ×160L(視窗直徑26φ)
光源真空紫外氘燈
輻射紫外線波長范圍115nm 至 400nm
冷卻方式風(fēng)扇強制風(fēng)冷
窗料窗口材料 MgF2
大量的530克
電源(動力裝置)
尺寸117W×90H×200D
冷卻方式風(fēng)扇強制風(fēng)冷
電源(AC)/功耗100-240V 50/60Hz 90VA
大量的1.8公斤

光離子化系統(tǒng)“Photoionizer"使用清潔離子生成方法“Photoionization"。與傳統(tǒng)的電暈放電方法不同,我們實現(xiàn)了不會產(chǎn)生“灰塵、電磁噪聲或臭氧"的清潔靜電消除。此外,由于離子生成平衡,因此不會發(fā)生反向充電。由于帶電物體附近的分子被電離以消除靜電,因此消除靜電的效率,可以瞬間消除高速運動物體和粉末的靜電,這在以前是困難的。是從“對象"、“速度"、“環(huán)境"、“可靠性"等方面解決靜電消除問題的靜電消除系統(tǒng)。

無需鼓風(fēng)機

在弱X射線照射的整個范圍內(nèi)不斷產(chǎn)生離子。由于帶電物體附近產(chǎn)生的離子直接有助于靜電消除,因此無需通過吹氣來傳送離子。也可以去除輕質(zhì)部件和粉末的靜電。

高離子濃度

在電暈放電型的情況下,電極附近的區(qū)域是產(chǎn)生離子的區(qū)域,而在弱X射線照射方法中,整個照射區(qū)域都是離子產(chǎn)生區(qū)域,這提高了靜電消除的效率。靜電消除時間也縮短了。

無反向充電

在弱X射線照射型中,同時產(chǎn)生等量的“正"離子和“負"離子,因此不會發(fā)生反向帶電。如果產(chǎn)生的離子平衡不平衡,只有其中一個離子會繼續(xù)大量存在,造成相反的電荷。沒有像電暈放電型那樣的“正"或“負"調(diào)整。

無需清洗電極

對于電暈放電型,灰塵會粘附在電極上并降低除電效果,因此需要經(jīng)常清潔電極。光電離子發(fā)生器無需長時間維護,可保持較高的靜電消除效果。

測量條件

充電電壓:1 kV 至 100 V(無吹風(fēng),溫度 26°C,相對濕度 50%)
充電板(150 x 150 mm,20 pF)



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