VPSA制氧機是由空氣鼓風機、真空泵、制氧吸附塔、產品儲罐、均壓緩沖罐及管路程控閥組成，由計算機程序控制、油壓驅動相關程控閥門開關，實現從空氣中分離氧氣產品的目的。
VPSA制氧機的主要組成設備
1. 入口空氣過濾器
入口空氣過濾器由內、外兩層過濾網組成，用于除去空氣中的機械雜質。設置的壓差計用于顯示過濾器是否該進行維護。
2. 離心式原料空氣風機和真空風機
本套裝置采用的原料風機為2057-RAS-JV型羅茨風機，其作用是向吸附床送氣。設計流量為50000m3/h；而真空風機是 2070VJ-V型羅茨風機，為吸附劑的再生和廢氣的排出提供真空，設計流量為65500m3/h。兩臺風機共同由一功率為2235kW的電動機驅動。在真空風機內還設置了密封水系統，起密封、潤滑和冷卻的作用。
3. 密封水系統
密封水是從設備架送到每級真空風機入口管線的。其壓力通過壓力調節閥來控制。真空風機運行時，打開截止閥供應密封水，停機時關閉閥。進水閥打開時，排水閥關閉。進水閥關閉時，排水閥打開，為進水閥泄壓，并確定沒有水送到真空風機。每級的密封水流量由流量調節閥控制。任一級水流量低于流量開關的設定值時都會引起停車。
正常運行時，密封水被廢氮氣帶到真空分離消聲器排放。當真空風機停車時，剩余的水分從排放管線回到設備架排放。真空風機運行時，排水閥關閉，風機停車時排水閥打開。
4. 雙吸附床
雙吸附床內裝13X和專用變壓吸附制氧分子篩吸附劑。13X和變壓吸附制氧分子篩分別用于吸附空氣中的水分、二氧化碳、碳氫化合物和氮氣。兩種吸附劑在床內呈徑向分布，減少了軸向氣流對分子篩的沖擊。分子篩頂部用膠膜密封壓緊，防止分子篩上下運動，同時引入壓力約15PSIA(1PSIA=6.89476kPa)的保護氧氣到保護層。底部用一塊鋼板將空氣擋住使其上升，而后從側面均勻進入分子篩，鋼絲網用于防止分子篩的徑向竄動。
5. 自動切換閥
具有切斷1 500 000次以上的顯著優點。
6. 儀表壓縮機系統
VPSA系統采用儀表壓縮機及配套干燥器提供儀表氣。每套機組的功率為37kW，可為系統提供3.8m3/min的氣量。表控制氣源系統可以采用工廠的空氣管網。
7. 可編程序控制(PLC)系統
成套的VPSA系統裝備有DMACS操作程序，通過DMACS操作平臺軟件可以進入控制系統的操作界面(OIU)。該計算機系統在PC死機的情況下，也不影響設備運行;而且在通信完善的條件下，可以在任何地方用遠程方式與電腦連接進行控制，基本實現無人操作。
8. 風機的輔助設備
風機的輔助設備包括進、出口消聲器、真空分離消聲器和廢氣排放消聲器。其中分離消聲器是用來分離真空風機出口的廢氣和密封水。廢氣直接排至大氣。密封水則排至集水井內，起氮封的作用。
9. 氧氣壓縮機系統
根據VPSA的產氧量和用戶需求，可選用立式、二級三列的活塞式壓縮機。每臺氧氣壓縮機的排氣量為5000m3/h，額定出口壓力是0.8MPa。
二、 裝置的特點
1.優點
杭州樂成生產的本套變壓吸附制氧工藝，與傳統的深冷空氣分離法制取氧氣相比，有以下優點：
1)VPSA制氧起動快(在半小時左右)。
2)建設工期短、投資省，約為同等產量低溫制氧機投資的75%左右。
3)占地少。單套VPSA凈占地約300m2。
4)能耗低。每立方米氧氣電耗僅0.33kW.h。
5)適應負荷變化能力強，可在區間負荷范圍內調節。
6)可實現暫停。在用戶用氧量減少或短時間內不用氧的情況下可實現暫停，使設備在節能狀態下運行，大大降低了能耗和電網的波動以及開、停車對設備的損壞。
7)自動化程度高，氧氣生產可基本實現自動化。
8)操作人員少，比深冷法制氧崗位人員少50%。
