氯化氫電磁閥所述精餾系統(tǒng)包括預(yù)加熱塔、若干過濾塔、反應(yīng)釜和精餾塔，航空煤油電磁閥預(yù)加熱塔以微量蒸汽方式對液相無水氟化氫進(jìn)行加熱氣化，氣化后送入過濾塔進(jìn)行一級過濾，一級過濾后得到的較純凈的氣相氟化氫和部分未氣化的液相無水氟化氫進(jìn)入反應(yīng)釜，反應(yīng)釜內(nèi)加有去離子水和強(qiáng)氧化劑，如溶液，環(huán)氧乙烷電磁閥并通過蒸汽進(jìn)行第二次加熱，強(qiáng)氧化劑用于將雜質(zhì)氧化沉淀后排出，去離子水用于清洗液相無水氟化氫，經(jīng)反應(yīng)釜后得到較為純凈的氣相氟化氫，完成第一次精餾，然后送入精餾塔進(jìn)行第二次精餾；

氮氧化物電磁閥所述中間槽循環(huán)冷卻吸收系統(tǒng)包括中間槽、若干冷卻塔、第二過濾塔和中控檢測裝置，環(huán)氧乙烷電磁閥中間槽通過去離子水打循環(huán)的方式對精餾后的氣相氟化氫進(jìn)行吸收，氣相氟化氫溶于水生成氫氟酸，放出的熱量通過冷卻塔將熱量帶走，第二過濾塔內(nèi)過濾掉氫氟酸內(nèi)的顆粒雜質(zhì)；

所述原料儲罐、精餾系統(tǒng)和中間槽循環(huán)冷卻吸收系統(tǒng)均設(shè)有尾排系統(tǒng)，航空煤油電磁閥尾排系統(tǒng)包括廢氣偵測裝置、去尾氣洗滌裝置和尾氣吸收槽，廢氣偵測裝置用于檢測系統(tǒng)中有無泄漏的氣體或未被吸收的氣相氟化氫，去尾氣洗滌裝置以噴淋吸收方式除去泄漏的尾氣，尾排系統(tǒng)將沒吸收的氟化氫氣體吸入尾氣吸收槽，吸收飽和后，中控檢測裝置進(jìn)行中控檢測，經(jīng)中控檢測合格后，將中間槽中的氫氟酸打入成品罐，成品罐中的氫氟酸經(jīng)成品泵和過濾器后進(jìn)行分裝。